ويڪيوم ڊيپوزيشن جي عملن ۾ ڪوٽنگ ڊيليمينيشن جو تجزيو

ڪوٽنگ ڊيليمينيشن، جنهن کي ايڊهيشن ناڪامي يا پيلنگ پڻ چيو ويندو آهي، هڪ اهم معيار جي ڳڻتي جي نمائندگي ڪري ٿوويڪيوم جمع ڪرڻ جا عمل. هي رجحان تڏهن ٿئي ٿو جڏهن جمع ٿيل فلم سبسٽريٽ کان الڳ ٿي ويندي آهي، جيڪا ڪارڪردگي جي ڪارڪردگي ۽ ساخت جي سالميت ٻنهي کي متاثر ڪندي آهي. ان جي بنيادي سببن جي هڪ جامع سمجھ لاءِ چار اهم طول و عرض ۾ منظم جانچ جي ضرورت آهي.

1. سبسٽريٽ مٿاڇري جي تياري جون کوٽيون

نا مناسب مٿاڇري توانائي: گهٽ مٿاڇري توانائي جا ذيلي ذخيرا (مثال طور، پي پي، پي ٽي ايف اي) مناسب ويٽنگ جي مزاحمت ڪن ٿا، اثرائتي انٽرفيشل بانڊنگ کي روڪين ٿا. 40 mN/m کان گهٽ مٿاڇري توانائي عام طور تي پلازما چالو ڪرڻ يا ڪيميائي پرائمنگ جي ضرورت هوندي آهي.

آلودگي جي موجودگي: باقي بچيل ڇڏڻ وارا ايجنٽ، تيل، يا جذب ٿيل نمي ڪمزور حد جي پرت ٺاهيندا آهن، جيڪي انٽرفيشل آلودگي جي طور تي ڪم ڪندا آهن جيڪي چپکڻ جي طاقت کي سمجهوتو ڪندا آهن.

غلط مٿاڇري جي شڪل: تمام گهڻي هموار مٿاڇري تي ميڪيڪل انٽرلاڪنگ سائيٽس جي کوٽ هوندي آهي، جڏهن ته تمام گهڻيون ڪچيون مٿاڇريون جمع ٿيندڙ وهڪري کي پاڇو ڪري سگهن ٿيون ۽ دٻاءُ جي ڪنسنٽريشن پوائنٽس پيدا ڪري سگهن ٿيون.

2. عمل سان لاڳاپيل ناڪامي جا طريقا

خراب ويڪيوم انٽيگريٽي: 5×10⁻⁵ ٽور کان وڌيڪ بنيادي دٻاءُ باقي گئس کي شامل ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو، جنهن جي ڪري آڪسائيڊ ٿيل انٽرفيس ۽ گهٽ بانڊنگ ڪارڪردگي ٿئي ٿي.

ناکافي پلازما علاج: گهٽ مقدار ۾ پلازما چالو ڪرڻ (گهٽ پاور کثافت / مختصر مدت) ڪيميائي بانڊنگ لاءِ مناسب سطحي فنڪشنل گروپ پيدا ڪرڻ ۾ ناڪام ٿئي ٿو.

غلط انٽرفيس انجنيئرنگ: چپکڻ کي فروغ ڏيندڙ انٽرليئرز جي غير موجودگي (مثال طور، ڌاتو-پوليمر سسٽم لاءِ Cr، Ti، يا SiOₓ) مادي خاصيتن جي بتدريج منتقلي کي روڪي ٿي.

3. مواد جي مطابقت جا مسئلا

حرارتي توسيع ۾ بي ترتيبي: ڪوٽنگ ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ CTE فرق 5 ppm/°C کان وڌيڪ، حرارتي سائيڪلنگ دوران انٽرفيشل دٻاءُ پيدا ڪن ٿا، ٿڪاوٽ جي ڪري ڊيليمينيشن کي فروغ ڏين ٿا.

ڪيميائي عدم مطابقت: انٽرفيشل رد عمل جي شين جي کوٽ (مثال طور، ڌاتو-سيرامڪ سسٽم ۾ ڪاربائيڊ ٺهڻ) جي نتيجي ۾ محدود طاقت سان خالص جسماني بانڊنگ ٿيندي آهي.

4. جمع ڪرڻ جي پيرا ميٽر جي خلاف ورزيون

غير اصلاحي تعصب وولٽيج: غلط سبسٽريٽ تعصب انٽرفيس ملائڻ ۽ خرابي پيدا ڪرڻ لاءِ مناسب آئن بمباري فراهم ڪرڻ ۾ ناڪام ٿئي ٿو.

شرح-حوصلہ افزائي خرابيون: گهڻي جمع ڪرڻ جي شرح (> 5 nm/s) سوراخ واري حدن سان ڪالمن جي واڌ جو سبب بڻجندي آهي، جنهن سان مربوط طاقت گهٽجي ويندي آهي.

گرمي پد جي انتظام جون غلطيون: بهترين حد کان 15٪ کان وڌيڪ سبسٽريٽ گرمي پد جي انحراف نيوڪليشن کثافت ۽ انٽرفيشل ڊفيوژن تي منفي اثر وجهن ٿا.

بچاءُ جو طريقو

مٿاڇري جي چالو ڪرڻ جي تصديق ڪرڻ لاءِ ريئل ٽائيم پلازما ڊائگنوسٽڪس (OES، Langmuir probes) لاڳو ڪريو.

ساختي طور تي ماڊيول ٿيل جمع استعمال ڪندي گريڊ ٿيل انٽرليئرز ڊيزائن ڪريو.

سخت آلودگي ڪنٽرول پروٽوڪول برقرار رکو (صاف ڪمرو ISO ڪلاس 6+)

شرح/ٿلهائي ڪنٽرول لاءِ ان-سيٽو ڪوارٽز ڪرسٽل مانيٽرنگ استعمال ڪريو.

نازڪ پيرا ميٽرز (دٻاءُ، تعصب، گرمي پد) لاءِ شمارياتي عمل ڪنٽرول قائم ڪريو.

ٿڪل
ڪوٽنگ ڊيليمينيشن الڳ ٿيل پيرا ميٽر غلطين جي بدران ڪيترن ئي عمل جي مرحلن ۾ هم آهنگي جي ناڪامين مان پيدا ٿئي ٿي. هڪ مضبوط آسنجن حڪمت عملي جي ضرورت آهي سبسٽريٽ تيار ڪرڻ، انٽرفيس انجنيئرنگ، ۽ جمع ڪرڻ جي متحرڪات جي مربوط اصلاح. انٽرفيشل ڪيمسٽري ۽ دٻاءُ جي انتظام جي منظم ڪنٽرول ذريعي، جديد ويڪيوم جمع ڪرڻ جا عمل اڪثر مواد جي ميلاپ لاءِ 50 MPa کان وڌيڪ مسلسل آسنجن ڪارڪردگي حاصل ڪري سگهن ٿا.

—هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پاران ويڪيوم ڪوٽنگ جو سامانٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم