Kala-goynta dahaarka, oo sidoo kale loo yaqaan fashilka adhesion ama diirka, waxay matashaa walaac tayo oo muhiim ahhababka dhigista faakuumkaDhacdadani waxay dhacdaa marka filimka la shubay uu ka sooco substrate-ka, taasoo wiiqisa waxqabadka shaqada iyo daacadnimada qaab-dhismeedka labadaba. Faham dhammaystiran oo ku saabsan sababaha asalka u ah waxay u baahan tahay baaritaan nidaamsan oo ka kooban afar cabbir oo muhiim ah.
1. Yaraanta Diyaarinta Dusha Sare ee Substrate-ka
Tamarta Dusha Sare oo aan ku filnayn: Substrate-yada tamarta dusha sare ee hooseeya (tusaale ahaan, PP, PTFE) waxay iska caabiyaan qoynta saxda ah, taasoo ka hortagaysa isku xidhka wax ku oolka ah ee wejiga. Tamarta dusha sare ee ka hooseysa 40 mN/m waxay caadi ahaan u baahan tahay kicinta balaasmaha ama diyaarinta kiimikada.
Joogitaanka Wasakhowga: Walxaha sii daaya haraaga ah, saliidaha, ama qoyaanka ku nuugaya waxay abuuraan lakabyo xuduud oo daciif ah, iyagoo u dhaqma sida wasakhda wejiga oo wiiqda xoogga dhegdhegga.
Qaab-dhismeedka Dusha Sare ee Aan Habboonayn: Dusha sare ee aadka u siman ma laha goobo farsamo oo isku xiran, halka dusha sare ee aadka u qallafsan ay hadhsan karaan qulqulka kaydka oo ay abuuri karaan dhibco uruurinta cadaadiska.
2. Hababka Guul-darrada ee la xiriira geeddi-socodka
Daacadnimada Faakuumka oo Liidata: Cadaadiska salka oo ka badan 5×10⁻⁵ Torr wuxuu u oggolaanayaa isku-darka gaaska haray, taasoo horseedaysa is-dhexgal oksaydhaysan iyo hufnaanta isku-xidhka oo yaraata.
Daawaynta Balaasmaha oo aan ku filnayn: Daawaynta balaasmaha oo aan la qiyaasin (cufnaanta awoodda oo yar/muddo gaaban) waxay ku guuldarraysatay inay soo saarto kooxo ku filan oo shaqeynaya dusha sare si loogu xidho kiimikada.
Injineernimada Is-dhexgalka Khaldan: Maqnaanshaha lakabyada isku-xidhka ee kor u qaada isku-dhejinta (tusaale ahaan, Cr, Ti, ama SiOₓ ee nidaamyada biraha-polymer) waxay ka hortagtaa kala-guurka tartiib tartiib ah ee sifooyinka walxaha.
3. Arrimaha Iswaafajinta Agabka
Isbarbardhigga Kulaylka: Kala duwanaanshaha CTE > 5 ppm/°C inta u dhaxaysa dahaarka iyo substrate-ka ayaa dhaliya cadaadisyo isdhaafsi ah inta lagu jiro wareegga kulaylka, taasoo kor u qaadaysa kala-goynta daalka ku salaysan.
Isku-dheelitir la'aanta Kiimikada: La'aanta alaabada falgalka wejiga (tusaale ahaan, sameynta carbide ee nidaamyada birta-dhoobada) waxay keentaa isku-xidhnaan jireed oo keliya oo leh xoog xaddidan.
4. Xadgudubyada Xuduudaha Dhigista
Korantada aan la hagaajin ee u janjeerta: Eexda khaldan ee substrate-ka ayaa ku guuldareysata inay bixiso duqeyn ku filan oo ion ah oo loogu talagalay isku-darka is-dhexgalka iyo soo saarista cilladaha.
Cilladaha Heerka Ku Dhaca: Heerarka dhigista xad-dhaafka ah (>5 nm/s) waxay sababaan korriin tiir leh xuduudo daloolo leh, taasoo yareynaysa xoogga isku-xidhka.
Khaladaadka Maareynta Heerkulka: Kala leexashada heerkulka substrate-ka ee ka badan 15% marka loo eego heerka ugu habboon waxay si xun u saamaysaa cufnaanta nucleation-ka iyo faafitaanka wejiga.
Habka Ka Hortagga
Hirgeli ogaanshaha plasma-ga waqtiga-dhabta ah (OES, baaritaannada Langmuir) si loo xaqiijiyo kicinta dusha sare
Naqshadeynta lakabka isku dhafan ee la qiimeeyay iyadoo la adeegsanayo dhigaalka qaabaysan ee wax laga beddelay
Ilaali hab-raacyada xakamaynta wasakhowga ee adag (Qolka nadiifka ah ISO Fasalka 6+)
Isticmaal kormeerka kiristaalka quartz ee goobta ku jira si aad u xakamayso heerka/qalooca
Samee xakamaynta habka tirakoobka ee xuduudaha muhiimka ah (cadaadis, eex, heerkulka)
Gunaanad
Kala-goynta dahaarka waxay ka timaaddaa cillado isku-dhafan oo ka dhaca marxalado badan oo geedi socod ah halkii laga eegi lahaa khaladaad cabbirro gooni ah. Istaraatiijiyad isku-dhejin adag waxay u baahan tahay hagaajinta isku-dhafka ah ee diyaarinta substrate-ka, injineernimada is-dhexgalka, iyo dhaqdhaqaaqa dhigista. Iyada oo loo marayo xakamaynta nidaamsan ee kiimikada is-dhexgalka iyo maaraynta walbahaarka, hababka dhigista faakuumka casriga ah waxay gaari karaan waxqabad isku-dhejin ah oo ka badan 50 MPa inta badan isku-darka walxaha.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Oktoobar-11-2025