Kev tawg ntawm txheej, tseem hu ua kev ua tsis tiav ntawm kev nplaum lossis tev tawv, sawv cev rau qhov kev txhawj xeeb tseem ceeb ntawm kev zoocov txheej txheem tso dej nqus tsevQhov xwm txheej no tshwm sim thaum cov zaj duab xis uas tau tso tawm sib cais ntawm cov substrate, ua rau muaj kev cuam tshuam rau kev ua haujlwm thiab kev ua haujlwm ntawm cov qauv. Kev nkag siab txog nws cov hauv paus ntsiab lus yuav tsum tau kuaj xyuas thoob plaws plaub qhov tseem ceeb.
1. Qhov Tsis Zoo ntawm Kev Npaj Nto ntawm Cov Khoom Siv
Lub Zog Nto Tsis Txaus: Cov khoom siv zog nto qis (piv txwv li, PP, PTFE) tiv taus kev ntub dej kom zoo, tiv thaiv kev sib txuas ntawm cov interfacial. Lub zog nto qis dua 40 mN/m feem ntau yuav tsum tau ua kom plasma ua haujlwm lossis tshuaj priming.
Muaj Cov Khoom Phem: Cov tshuaj tso tawm seem, cov roj, lossis cov dej noo uas nqus tau tsim cov txheej ciam teb tsis muaj zog, ua haujlwm ua cov khoom paug uas cuam tshuam rau lub zog lo.
Kev Nto Nto Tsis Zoo: Cov chaw du thiab tsis muaj qhov chaw sib txuas, thaum cov chaw ntxhib dhau yuav ua rau cov dej ntws tawm thiab tsim cov ntsiab lus ntxhov siab.
2. Cov Txheej Txheem Ua Tsis Tau Zoo Uas Muaj Feem Xyuam
Kev Ua Haujlwm Tsis Zoo ntawm Lub Tshuab Nqus Tsev: Lub zog siab tshaj 5 × 10⁻⁵ Torr tso cai rau cov roj seem sib xyaw, ua rau cov interfaces oxidized thiab txo qis kev sib txuas.
Kev Kho Mob Plasma Tsis Txaus: Kev ua haujlwm plasma tsis txaus (qis zog tsawg / lub sijhawm luv luv) tsis ua haujlwm pab pawg ua haujlwm ntawm qhov chaw kom txaus rau kev sib txuas tshuaj lom neeg.
Kev Tsim Kho Qhov Sib Txuas Tsis Yog: Yog tsis muaj cov txheej sib txuas uas txhawb kev nplaum (piv txwv li, Cr, Ti, lossis SiOₓ rau cov hlau-polymer systems) tiv thaiv kev hloov pauv maj mam ntawm cov khoom siv.
3. Cov Teeb Meem Sib Xws ntawm Cov Khoom Siv
Kev Nthuav Dav Kub Tsis Sib Xws: CTE qhov sib txawv >5 ppm/°C ntawm cov txheej txheej thiab cov khoom siv ua rau muaj kev ntxhov siab ntawm cov interfacial thaum lub sijhawm thermal cycling, ua rau muaj kev qaug zog los ntawm kev tawg.
Kev Tsis Sib Haum Xeeb ntawm Cov Tshuaj: Tsis muaj cov khoom sib xyaw ua ke (piv txwv li, kev tsim cov carbide hauv cov hlau-ceramic systems) ua rau muaj kev sib txuas ntawm lub cev nrog lub zog tsawg.
4. Kev Ua Txhaum Cai ntawm Cov Txheej Txheem Tso Tawm
Lub zog tsis zoo: Qhov tsis zoo ntawm lub substrate tsis ua haujlwm kom muaj kev sib tsoo ion txaus rau kev sib xyaw interface thiab kev tsim qhov tsis zoo.
Cov Kev Tsis Zoo Uas Ua Rau Muaj Tus Nqi: Cov nqi tso dej ntau dhau (> 5 nm / s) ua rau muaj kev loj hlob ntawm cov kab ke nrog cov ciam teb porous, txo qhov muaj zog sib koom ua ke.
Yuam Kev Tswj Kub: Qhov kub ntawm cov substrate hloov pauv >15% ntawm qhov zoo tshaj plaws cuam tshuam tsis zoo rau qhov ceev ntawm nucleation thiab interfacial diffusion.
Kev Tiv Thaiv Kab Mob
Siv cov kev kuaj mob plasma tiag tiag (OES, Langmuir probes) los xyuas kom meej tias qhov chaw ua haujlwm zoo li cas
Tsim cov txheej txheem sib txawv siv cov khoom sib xyaw ua ke
Tswj cov txheej txheem tswj kev ua qias tuaj (chav huv ISO Class 6+)
Siv cov khoom siv quartz siv lead ua hauv qhov chaw los tswj tus nqi / tuab
Tsim kom muaj kev tswj xyuas cov txheej txheem txheeb cais rau cov kev ntsuas tseem ceeb (siab, kev cuam tshuam, kub)
Xaus lus
Kev tawg ntawm cov txheej txheem yog los ntawm kev ua tsis tiav ntawm ntau theem txheej txheem es tsis yog qhov yuam kev cais tawm. Ib txoj kev sib txuas lus zoo yuav tsum tau ua kom zoo dua ntawm kev npaj cov khoom siv, kev tsim kho interface, thiab kev tso cov khoom siv. Los ntawm kev tswj hwm kev sib txuas lus ntawm cov tshuaj lom neeg thiab kev tswj kev ntxhov siab, cov txheej txheem tso cov khoom siv niaj hnub no tuaj yeem ua tiav kev ua tau zoo ntawm kev sib txuas lus ntau dua 50 MPa rau feem ntau cov khoom sib xyaw ua ke.
— Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawm cov khoom siv nqus tsev txheejChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Hli-11-2025