ZCL0608

Ekipman, magnetron püskürtme ve dirençli buharlaştırma teknolojisini bir araya getirerek, çeşitli alt tabakaların kaplanması için bir çözüm sunuyor.
Deneysel kaplama ekipmanı çoğunlukla üniversitelerde ve bilimsel araştırma kurumlarında kullanılır ve çeşitli deneysel gereksinimleri karşılayabilir. Ekipman için çeşitli yapısal hedefler ayrılmıştır ve bu ekipmanlar farklı alanlardaki bilimsel araştırma ve geliştirmeyi karşılamak üzere esnek bir şekilde yapılandırılabilir. Magnetron püskürtme sistemi, katot ark sistemi, elektron ışını buharlaştırma sistemi, direnç buharlaştırma sistemi, CVD, PECVD, iyon kaynağı, önyargı sistemi, ısıtma sistemi, üç boyutlu fikstür vb. seçilebilir. Müşteriler farklı ihtiyaçlarına göre seçim yapabilirler.
Ekipman, güzel görünüm, kompakt yapı, küçük taban alanı, yüksek otomasyon derecesi, basit ve esnek çalışma, istikrarlı performans ve kolay bakım özelliklerine sahiptir.
Ekipman plastik, paslanmaz çelik, elektrokaplama donanım/plastik parçalar, cam, seramik ve diğer malzemelere uygulanabilir. Titanyum, krom, gümüş, bakır, alüminyum gibi basit metal katmanları veya TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC gibi metal bileşik filmleri hazırlanabilir.