Wakuum örtük ulgamy wakuum gurşawynda ýüze inçe plýonka ýa-da örtük sürmek üçin ulanylýan tehnologiýadyr. Bu proses ýokary hilli, birmeňzeş we çydamly örtügi üpjün edýär, bu bolsa elektronika, optika, awtoulag we awiakosmos ýaly dürli pudaklarda möhümdir. Wakuum örtük ulgamlarynyň dürli görnüşleri bar, olaryň her biri belli bir ulanylyş üçin amatlydyr. Ine, birnäçe esasy görnüşleri:
Fiziki bug çökündisi (PVD): Bu proses materialyň gaty ýa-da suwuk çeşmeden substrata fiziki geçirilmegini öz içine alýar. Umumy usullara aşakdakylar girýär:
Püskürtme: Material nyşanadan çykarylýar we substratyň üstüne ýerleşdirilýär.
Bugaryş: Material bugarýança gyzdyrylýar we soňra substratda kondensasiýa bolýar.
Himiki Bug Çökdürme (HBÇ): Bu proses bug fazasynyň öňbaşçysy bilen substrat ýüzüniň arasyndaky himiki reaksiýany öz içine alýar we berk plýonka emele getirýär. Görnüşlere aşakdakylar girýär:
Plazma bilen güýçlendirilen ýürek-damar keselleri (PECVD): Himiki reaksiýalary güýçlendirmek üçin plazmany ulanýar.
Metal-Organiki CVD (MOCVD): Metal-organiki birleşmeleri öňki maddalar hökmünde ulanýar.
Atom Gatlak Çökdürilmegi (ALD): Atom gatlaklaryny bir-birden çökdürýän, takyk galyňlygy we düzümi üpjün edýän ýokary derejede gözegçilik edilýän proses.
Magnetron püskürtme: Plazmany çäklendirmek üçin magnit meýdanlarynyň ulanylýan we püskürtme prosesiniň netijeliligini ýokarlandyrýan PVD görnüşi.
Ion Şöhlesi Çökdürmek: Nyşanadan materiallary püskürtmek we ony substrata ýerleşdirmek üçin ion şöhlelerini ulanýar.
Ulanyşlar:
Ýarymgeçirijiler: Mikroçipler we elektron komponentler üçin örtükler.
Optika: Şöhle çykarmaýan örtükler, aýnalar we linzalar.
Awtomobil: Dwigatel bölekleri we bezeg işleri üçin örtükler.
Aerokosmos: Termal päsgelçilik örtükleri we gorag gatlaklary.
Peýdalary:
Birmeňzeş örtükler: Substrat boýunça yzygiderli galyňlygy we düzümi gazanýar.
Ýokary ýelmeşme: Örtükler substrata gowy ýelmeşýär we çydamlylygyny ýokarlandyrýar.
Arassalyk we hil: Wakuum gurşawy hapalanmany azaldýar we netijede ýokary arassa örtükler emele gelýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 9-njy iýuly