Vakuum örtük sistemi, vakuum mühitində səthə nazik bir təbəqə və ya örtük tətbiq etmək üçün istifadə olunan bir texnologiyadır. Bu proses elektronika, optika, avtomobil və aerokosmik kimi müxtəlif sahələrdə vacib olan yüksək keyfiyyətli, vahid və davamlı bir örtük təmin edir. Hər biri müəyyən tətbiqlər üçün uyğun olan müxtəlif növ vakuum örtük sistemləri mövcuddur. Budur bir neçə əsas növ:
Fiziki Buxar Çökməsi (PVD): Bu proses materialın bərk və ya maye mənbədən substrata fiziki köçürülməsini əhatə edir. Ümumi metodlara aşağıdakılar daxildir:
Püskürtmə: Material hədəfdən atılır və substratın üzərinə çökdürülür.
Buxarlanma: Material buxarlanana qədər qızdırılır və sonra substrat üzərində kondensasiya olunur.
Kimyəvi Buxar Çökməsi (KÇÇ): Bu proses buxar fazası öncülü ilə substrat səthi arasında kimyəvi reaksiyanı əhatə edir və bərk bir təbəqə əmələ gətirir. Variantlara aşağıdakılar daxildir:
Plazma ilə Gücləndirilmiş Ürək-Damar Sistemi (PECVD): Kimyəvi reaksiyaları gücləndirmək üçün plazmadan istifadə edir.
Metal-Üzvi CVD (MOCVD): Metal-üzvi birləşmələrdən sələf kimi istifadə edir.
Atom Layının Çökdürülməsi (ALD): Atom təbəqələrini bir-bir çökdürən, dəqiq qalınlıq və tərkib təmin edən yüksək dərəcədə idarə olunan bir proses.
Maqnetron Püskürtmə: Plazmanı məhdudlaşdırmaq üçün maqnit sahələrinin istifadə edildiyi və püskürtmə prosesinin səmərəliliyini artıran PVD növü.
İon Şüalarının Çökdürülməsi: Hədəfdən materialı püskürtmək və substrata yerləşdirmək üçün ion şüalarından istifadə edir.
Tətbiqlər:
Yarımkeçiricilər: Mikroçiplər və elektron komponentlər üçün örtüklər.
Optika: Əks etdirməyən örtüklər, güzgülər və linzalar.
Avtomobil: Mühərrik komponentləri və dekorativ örtüklər üçün örtüklər.
Aerokosmik: Termal maneə örtükləri və qoruyucu təbəqələr.
Faydaları:
Vahid örtüklər: Substrat boyunca ardıcıl qalınlıq və tərkib əldə edir.
Yüksək yapışma: örtüklər bazaya yaxşı yapışır və davamlılığı artırır.
Saflıq və Keyfiyyət: Vakuum mühiti çirklənməni azaldır və nəticədə yüksək təmizlikli örtüklər əldə edilir.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 09 İyul 2024