Вакуумдук каптоо системасы – бул вакуумдук чөйрөдө бетке жука пленка же каптоо колдонуу үчүн колдонулган технология. Бул процесс электроника, оптика, автомобиль жана аэрокосмос сыяктуу ар кандай тармактарда маанилүү болгон жогорку сапаттагы, бирдей жана бышык каптоону камсыз кылат. Вакуумдук каптоо системаларынын ар кандай түрлөрү бар, алардын ар бири белгилүү бир колдонмолорго ылайыктуу. Бул жерде бир нече негизги түрлөрү келтирилген:
Физикалык буу чөктүрүү (ФБЧ): Бул процесс материалды катуу же суюк булактан субстратка физикалык түрдө өткөрүп берүүнү камтыйт. Жалпы ыкмаларга төмөнкүлөр кирет:
Чачыратуу: Материал бутадан чыгарылып, негизге чөгөт.
Буулануу: Материал бууланганга чейин ысытылат, андан кийин субстраттын үстүндө конденсацияланат.
Химиялык буу чөкмөсү (ХБЧ): Бул процесс буу фазасынын прекурсору менен субстраттын бетинин ортосундагы химиялык реакцияны камтыйт, ал катуу пленканы түзөт. Варианттарга төмөнкүлөр кирет:
Плазма менен күчөтүлгөн жүрөк-кан тамыр оорулары (PECVD): Химиялык реакцияларды күчөтүү үчүн плазманы колдонот.
Металл-органикалык CVD (MOCVD): Металл-органикалык кошулмаларды прекурсорлор катары колдонот.
Атомдук катмарды чөктүрүү (АКЧ): так калыңдыкты жана курамды камсыз кылуу менен атомдук катмарларды бирден чөктүрүүчү жогорку деңгээлде башкарылуучу процесс.
Магнетрондук чачыратуу: Плазманы чектөө үчүн магниттик талаалар колдонулган, чачыратуу процессинин натыйжалуулугун жогорулатуучу PVD түрү.
Иондук нурларды чөктүрүү: Бутадан материалды чачыратып, аны негизге чөктүрүү үчүн иондук нурларды колдонот.
Колдонмолор:
Жарым өткөргүчтөр: Микрочиптер жана электрондук компоненттер үчүн каптоолор.
Оптика: Чагылдырбоочу каптоолор, күзгүлөр жана линзалар.
Автоунаа: Кыймылдаткычтын компоненттери жана декоративдик жасалгалар үчүн каптоолор.
Аэрокосмос: жылуулук тосмо каптамалары жана коргоочу катмарлар.
Артыкчылыктары:
Бирдей каптоо: Субстрат боюнча бирдей калыңдыкка жана курамга жетишет.
Жогорку адгезия: каптамалар негизге жакшы жабышып, бышыктыкты жогорулатат.
Тазалык жана сапат: Вакуумдук чөйрө булганууну азайтат, натыйжада жогорку тазалыктагы каптамалар пайда болот.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 9-июлу