Вакуум каплау системасы - вакуум мохитендә өслеккә юка пленка яки каплау куллану өчен кулланыла торган технология. Бу процесс югары сыйфатлы, бердәм һәм нык каплауны тәэмин итә, бу электроника, оптика, автомобиль һәм аэрокосмик кебек төрле тармакларда бик мөһим. Вакуум каплау системаларының төрле төрләре бар, аларның һәрберсе билгеле бер кушымталар өчен яраклы. Менә берничә төп төр:
Физик пар утырту (PVD): Бу процесс материалны каты яки сыек чыганактан субстратка физик күчерүне үз эченә ала. Гадәти ысулларга түбәндәгеләр керә:
Сиптерү: Материал максаттан чыгарыла һәм субстратка чүпләнә.
Парга әйләнү: Материал парга әйләнгәнче җылытыла, аннары субстрат өстендә конденсацияләнә.
Химик пар утырту (ХПК): Бу процесс пар фазасы прекурсоры һәм субстрат өслеге арасында химик реакцияне үз эченә ала, бу каты пленка барлыкка китерә. Вариантлар арасында түбәндәгеләр бар:
Плазма белән көчәйтелгән йөрәк-кан тамырлары авырулары (PECVD): Химик реакцияләрне көчәйтү өчен плазма куллана.
Металл-органик CVD (MOCVD): Металл-органик кушылмаларны прекурсорлар буларак куллана.
Атом катламнарын урнаштыру (АКК): Атом катламнарын берәмтекләп урнаштыручы югары дәрәҗәдә контрольдә тотыла торган процесс, төгәл калынлыкны һәм составны тәэмин итә.
Магнетрон сиптерү: Плазманы чикләү өчен магнит кырлары кулланыла торган PVD төре, сиптерү процессының нәтиҗәлелеген арттыра.
Ион нурларын урнаштыру: Максаттан материалны сиптерү һәм аны субстратка урнаштыру өчен ион нурларын куллана.
Кушымталар:
Ярымүткәргечләр: Микрочиплар һәм электрон компонентлар өчен капламалар.
Оптика: чагылышка каршы капламалар, көзгеләр һәм линзалар.
Автомобильләр: Двигатель компонентлары һәм декоратив бизәкләр өчен каплаулар.
Аэрокосмик: җылылык киртә капламалары һәм саклагыч катламнар.
Өстенлекләре:
Бердәм каплау: Субстрат буенча даими калынлыкка һәм составка ирешә.
Югары адгезия: Капламалар нигезгә яхшы ябышып, ныклыкны арттыра.
Сафлык һәм сыйфат: Вакуум мохите пычрануны киметә, нәтиҗәдә югары сафлыклы капламалар барлыкка килә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 9 июле