សេចក្តីផ្តើមប្រព័ន្ធថ្នាំកូតសុញ្ញកាស

ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយដែលប្រើសម្រាប់លាបស្រទាប់ស្តើង ឬថ្នាំកូតទៅលើផ្ទៃក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាស។ ដំណើរការនេះធានាបាននូវថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ឯកសណ្ឋាន និងប្រើប្រាស់បានយូរ ដែលមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗដូចជា អេឡិចត្រូនិច អុបទិក យានយន្ត និងអាកាសចរណ៍។ មានប្រព័ន្ធថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាសប្រភេទផ្សេងៗគ្នា ដែលនីមួយៗសមស្របសម្រាប់កម្មវិធីជាក់លាក់។ ខាងក្រោមនេះគឺជាប្រភេទសំខាន់ៗមួយចំនួន៖
ការដាក់ចំហាយរូបវន្ត (PVD)៖ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការផ្ទេររូបវន្តនៃសម្ភារៈពីប្រភពរឹង ឬរាវទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោម។ វិធីសាស្ត្រទូទៅរួមមាន៖

ការ​បាញ់​ចេញ៖ សម្ភារៈ​ត្រូវ​បាន​ច្រាន​ចេញ​ពី​គោលដៅ ហើយ​ដាក់​លើ​ស្រទាប់​ខាងក្រោម។
ការហួត៖ សម្ភារៈត្រូវបានកំដៅរហូតដល់វាហួត ហើយបន្ទាប់មកកកនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD)៖ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងប្រតិកម្មគីមីរវាងសារធាតុបឋមដំណាក់កាលចំហាយ និងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តរឹង។ វ៉ារ្យ៉ង់រួមមាន៖

CVD ដែលបង្កើនប្លាស្មា (PECVD)៖ ប្រើប្រាស់ប្លាស្មាដើម្បីបង្កើនប្រតិកម្មគីមី។
CVD លោហៈ-សរីរាង្គ (MOCVD): ប្រើប្រាស់សមាសធាតុលោហៈ-សរីរាង្គជាសារធាតុបឋម។
ការដាក់ស្រទាប់អាតូម (ALD)៖ ដំណើរការដែលគ្រប់គ្រងយ៉ាងខ្ពស់ ដែលដាក់ស្រទាប់អាតូមម្តងមួយៗ ដោយធានាបាននូវកម្រាស់ និងសមាសភាពយ៉ាងច្បាស់លាស់។

ការ​បញ្ចេញ​ពន្លឺ​ម៉ាញ៉េទិច​៖ ប្រភេទ​នៃ PVD មួយ​ដែល​ដែន​ម៉ាញ៉េទិច​ត្រូវ​បាន​ប្រើ​ដើម្បី​កំណត់​ប្លាស្មា ដែល​បង្កើន​ប្រសិទ្ធភាព​នៃ​ដំណើរការ​បញ្ចេញ​ពន្លឺ។

ការដាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង៖ ប្រើធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងដើម្បីបាញ់សម្ភារៈចេញពីគោលដៅ ហើយដាក់វាទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។

កម្មវិធី៖

ឧបករណ៍​អេឡិចត្រូនិក៖ ថ្នាំកូតសម្រាប់មីក្រូឈីប និងសមាសធាតុអេឡិចត្រូនិច។
អុបទិក៖ ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង កញ្ចក់ និងកែវភ្នែក។
យានយន្ត៖ ថ្នាំកូតសម្រាប់សមាសធាតុម៉ាស៊ីន និងការតុបតែងលម្អ។
អវកាស៖ ថ្នាំកូតរបាំងកម្ដៅ និងស្រទាប់ការពារ។
អត្ថប្រយោជន៍៖

ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន៖ សម្រេចបានកម្រាស់ និងសមាសភាពស្របគ្នានៅទូទាំងស្រទាប់ខាងក្រោម។
ភាពស្អិតខ្ពស់៖ ថ្នាំកូតស្អិតជាប់នឹងស្រទាប់ខាងក្រោមបានល្អ ដែលបង្កើនភាពធន់។
ភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាព៖ បរិយាកាសសុញ្ញកាសកាត់បន្ថយការបំពុល ដែលបណ្តាលឱ្យមានថ្នាំកូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ