ລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນເທັກໂນໂລຢີທີ່ໃຊ້ເພື່ອໃຊ້ຟິມບາງໆ ຫຼື ການເຄືອບໃສ່ພື້ນຜິວໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ. ຂະບວນການນີ້ຮັບປະກັນການເຄືອບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເປັນເອກະພາບ ແລະ ທົນທານ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສຳຄັນໃນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເອເລັກໂຕຣນິກ, ທັດສະນະ, ຍານຍົນ ແລະ ການບິນອະວະກາດ. ມີລະບົບການເຄືອບສູນຍາກາດຫຼາຍປະເພດ, ແຕ່ລະປະເພດເໝາະສົມກັບການນຳໃຊ້ສະເພາະ. ນີ້ແມ່ນບາງປະເພດຫຼັກ:
ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD): ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໂອນວັດສະດຸທາງກາຍະພາບຈາກແຫຼ່ງແຂງ ຫຼື ແຫຼວໄປຫາຊັ້ນຮອງພື້ນ. ວິທີການທົ່ວໄປປະກອບມີ:
ການສີດພົ່ນ: ວັດສະດຸຖືກສີດອອກຈາກເປົ້າໝາຍ ແລະ ວາງໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ການລະເຫີຍ: ວັດສະດຸຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຈົນກວ່າມັນຈະລະເຫີຍ ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ກັ່ນຕົວຢູ່ເທິງພື້ນຜິວ.
ການຕົກຕະກອນດ້ວຍໄອເຄມີ (CVD): ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບປະຕິກິລິຍາເຄມີລະຫວ່າງສານຕັ້ງຕົ້ນຂອງໄລຍະໄອ ແລະ ໜ້າດິນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ປະກອບເປັນຟິມແຂງ. ຕົວແປປະກອບມີ:
CVD ທີ່ເສີມດ້ວຍ plasma (PECVD): ໃຊ້ plasma ເພື່ອປັບປຸງປະຕິກິລິຍາເຄມີ.
CVD ໂລຫະ-ອິນຊີ (MOCVD): ໃຊ້ສານປະກອບໂລຫະ-ອິນຊີເປັນສານຕັ້ງຕົ້ນ.
ການວາງຊັ້ນອະຕອມ (ALD): ຂະບວນການທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດເຊິ່ງວາງຊັ້ນອະຕອມລົງເທື່ອລະຊັ້ນ, ຮັບປະກັນຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບທີ່ແນ່ນອນ.
ການສະເປຣດເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ: ປະເພດຂອງ PVD ບ່ອນທີ່ສະໜາມແມ່ເຫຼັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຈຳກັດພລາສມາ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການສະເປຣດເຕີຣິງ.
ການວາງລຳແສງໄອອອນ: ໃຊ້ລຳແສງໄອອອນເພື່ອພົ່ນວັດສະດຸອອກຈາກເປົ້າໝາຍ ແລະ ວາງມັນລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
ເຊມິຄອນດັກເຕີ: ການເຄືອບສຳລັບໄມໂຄຣຊິບ ແລະ ອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກ.
ທັດສະນະສາດ: ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ, ກະຈົກ ແລະ ເລນ.
ຍານຍົນ: ການເຄືອບສຳລັບສ່ວນປະກອບເຄື່ອງຈັກ ແລະ ການຕົກແຕ່ງສຳເລັດຮູບ.
ການບິນອະວະກາດ: ການເຄືອບສິ່ງກີດຂວາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຊັ້ນປ້ອງກັນ.
ຜົນປະໂຫຍດ:
ການເຄືອບສະໝໍ່າສະເໝີ: ບັນລຸຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງກັນທົ່ວພື້ນຜິວ.
ການຍຶດຕິດສູງ: ສານເຄືອບຍຶດຕິດກັບພື້ນຜິວໄດ້ດີ, ຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມທົນທານ.
ຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄຸນນະພາບ: ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ມີການເຄືອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ກໍລະກົດ 09-2024
