Vakuumli qoplama tizimi - bu vakuum muhitida sirtga yupqa plyonka yoki qoplamani qo'llash uchun ishlatiladigan texnologiya. Bu jarayon yuqori sifatli, bir xil va bardoshli qoplamani ta'minlaydi, bu elektronika, optika, avtomobilsozlik va aerokosmik kabi turli sohalarda juda muhimdir. Vakuumli qoplama tizimlarining har biri ma'lum ilovalar uchun mos keladigan turli xil turlari mavjud. Mana bir nechta asosiy turlari:
Fizik bug'lanish cho'kmasi (PVD): Bu jarayon materialni qattiq yoki suyuq manbadan substratga fizik o'tkazishni o'z ichiga oladi. Umumiy usullar quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Purkash: Material nishondan otilib chiqadi va substratga yotqiziladi.
Bug'lanish: Material bug'lanib ketguncha qizdiriladi va keyin substratda kondensatsiyalanadi.
Kimyoviy bug' cho'kishi (KBCh): Bu jarayon bug' fazasi prekursori va substrat yuzasi o'rtasida kimyoviy reaksiyani o'z ichiga oladi va qattiq plyonka hosil qiladi. Variantlar quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Plazma bilan kuchaytirilgan yurak-qon tomir kasalliklari (PECVD): Kimyoviy reaksiyalarni kuchaytirish uchun plazmadan foydalanadi.
Metall-organik CVD (MOCVD): Metall-organik birikmalarni prekursor sifatida ishlatadi.
Atom qatlamini cho'ktirish (ALD): Atom qatlamlarini birma-bir cho'ktiradigan, aniq qalinlik va tarkibni ta'minlaydigan yuqori darajada boshqariladigan jarayon.
Magnetronli purkash: Plazmani cheklash uchun magnit maydonlardan foydalaniladigan PVD turi, bu esa purkash jarayonining samaradorligini oshiradi.
Ion nurlarini cho'ktirish: Nishondan materialni purkash va uni substratga yotqizish uchun ion nurlaridan foydalanadi.
Ilovalar:
Yarimo'tkazgichlar: Mikrochiplar va elektron komponentlar uchun qoplamalar.
Optika: aks ettiruvchi qoplamalar, oynalar va linzalar.
Avtomobilsozlik: Dvigatel komponentlari va dekorativ qoplamalar uchun qoplamalar.
Aerokosmik: Issiqlik to'siq qoplamalari va himoya qatlamlari.
Foyda:
Bir xil qoplamalar: Substrat bo'ylab bir xil qalinlik va tarkibga erishadi.
Yuqori yopishqoqlik: Qoplamalar substratga yaxshi yopishadi va chidamlilikni oshiradi.
Soflik va sifat: Vakuum muhiti ifloslanishni kamaytiradi, natijada yuqori tozalikdagi qoplamalar hosil bo'ladi.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 9-iyul