Вакуум бүрхүүлийн системийн танилцуулга

Вакуум бүрхүүлийн систем нь вакуум орчинд гадаргуу дээр нимгэн хальс эсвэл бүрхүүл түрхэхэд ашигладаг технологи юм. Энэ процесс нь электроник, оптик, автомашин, сансар судлал зэрэг янз бүрийн салбарт чухал ач холбогдолтой өндөр чанартай, жигд, бат бөх бүрхүүлийг баталгаажуулдаг. Тодорхой хэрэглээнд тохирсон янз бүрийн төрлийн вакуум бүрхүүлийн системүүд байдаг. Энд хэд хэдэн гол төрлүүд байна:
Физик уурын тунадасжилт (PVD): Энэ процесс нь материалыг хатуу эсвэл шингэн эх үүсвэрээс суурь руу физик байдлаар шилжүүлэхийг хамардаг. Нийтлэг аргуудад дараахь зүйлс орно.

Шүрших: Материалыг байнаас гаргаж, суурь дээр хуримтлуулна.
Ууршилт: Материалыг уурших хүртэл халааж, дараа нь суурь дээр конденсацлана.
Химийн уурын тунадасжилт (ХУТТ): Энэ процесс нь уурын фазын урьдал бодис болон суурь гадаргуугийн хоорондох химийн урвалыг хамардаг бөгөөд ингэснээр хатуу хальс үүснэ. Хувилбаруудад дараахь зүйлс орно.

Плазмаар сайжруулсан зүрх судасны өвчин (PECVD): Химийн урвалыг сайжруулахын тулд плазмыг ашигладаг.
Металл-Органик CVD (MOCVD): Металл-органик нэгдлүүдийг урьдал бодис болгон ашигладаг.
Атомын давхаргын тунадасжилт (ALD): Атомын давхаргыг нэг нэгээр нь тунадасжуулж, нарийн зузаан, найрлагыг баталгаажуулдаг өндөр хяналттай үйл явц.

Магнетрон цацалт: Соронзон орон нь плазмыг хязгаарлахад ашиглагддаг бөгөөд цацалтын процессын үр ашгийг нэмэгдүүлдэг PVD-ийн нэг төрөл.

Ионы цацрагийн хуримтлал: Байнаас материалыг цацаж, суурь дээр байрлуулахын тулд ионы цацрагийг ашигладаг.

Хэрэглээ:

Хагас дамжуулагч: Микрочип болон электрон эд ангиудын бүрхүүл.
Оптик: Гэрэл тусгалгүй бүрхүүл, толь, линз.
Автомашин: Хөдөлгүүрийн эд анги, гоёл чимэглэлийн өнгөлгөөний бүрхүүл.
Агаарын тээвэр: Дулааны хаалт бүрхүүл ба хамгаалалтын давхаргууд.
Давуу талууд:

Жигд бүрэлт: Субстратын хэмжээнд жигд зузаан, найрлагыг бий болгоно.
Өндөр наалдалт: Бүрхүүл нь суурь дээр сайн наалддаг тул бат бөх чанарыг нэмэгдүүлдэг.
Цэвэр байдал ба чанар: Вакуум орчин нь бохирдлыг бууруулж, өндөр цэвэршилттэй бүрхүүл үүсгэдэг.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа