Системаи пӯшиши вакуумӣ технологияест, ки барои молидани плёнкаи тунук ё пӯшиш ба сатҳ дар муҳити вакуумӣ истифода мешавад. Ин раванд пӯшиши баландсифат, якхела ва пойдорро таъмин мекунад, ки дар соҳаҳои гуногун, аз қабили электроника, оптика, автомобилсозӣ ва аэрокосмос муҳим аст. Намудҳои гуногуни системаҳои пӯшиши вакуумӣ мавҷуданд, ки ҳар кадоме барои барномаҳои мушаххас мувофиқанд. Инҳоянд чанд намуди асосӣ:
Ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD): Ин раванд интиқоли ҷисмонии маводро аз манбаи сахт ё моеъ ба субстрат дар бар мегирад. Усулҳои маъмул инҳоянд:
Пошидани пошиш: Мавод аз ҳадаф берун партофта шуда, ба рӯи он гузошта мешавад.
Бухоршавӣ: Мавод то бухор шуданаш гарм карда мешавад ва сипас дар рӯи замин конденсатсия мешавад.
Андозагирии буғи кимиёвӣ (CVD): Ин раванд аксуламали кимиёвиро байни прекурсори фазаи буғ ва сатҳи субстрат дар бар мегирад, ки дар натиҷа як плёнкаи сахт ба вуҷуд меояд. Вариантҳо инҳоянд:
CVD бо плазма такмилёфта (PECVD): Плазмаро барои тақвияти реаксияҳои кимиёвӣ истифода мебарад.
CVD-и металлӣ-органикӣ (MOCVD): Пайвастагиҳои металлӣ-органикиро ҳамчун пешгузаштагон истифода мебарад.
Ҷойгиркунии қабати атомӣ (ALD): Раванди хеле назоратшаванда, ки қабатҳои атомиро як ба як ҷойгир мекунад ва ғафсӣ ва таркиби дақиқро таъмин мекунад.
Пошидани магнетронӣ: Навъи PVD, ки дар он майдонҳои магнитӣ барои маҳдуд кардани плазма истифода мешаванд ва самаранокии раванди пошиданиро афзоиш медиҳанд.
Ҷойгиркунии шуоъҳои ионӣ: Аз шуоъҳои ионӣ барои пошидани мавод аз ҳадаф ва гузоштани он ба рӯи субстрат истифода мебарад.
Барномаҳо:
Нимноқилҳо: Рӯйпӯшҳо барои микрочипҳо ва ҷузъҳои электронӣ.
Оптика: Пӯшишҳои зидди инъикос, оинаҳо ва линзаҳо.
Автомобилсозӣ: Рӯйпӯшҳо барои ҷузъҳои муҳаррик ва ороиши ороишӣ.
Аэрокосмос: Пӯшишҳои монеаи гармӣ ва қабатҳои муҳофизатӣ.
Фоидаҳо:
Рӯйпӯшҳои якхела: Ғафсӣ ва таркиби якхеларо дар тамоми сатҳи асосӣ ба даст меорад.
Часпиши баланд: Рӯйпӯшҳо ба субстрат хуб часпида, устувории онро зиёд мекунанд.
Покӣ ва сифат: Муҳити вакуумӣ ифлосшавиро кам мекунад, ки дар натиҷа рӯйпӯшҳои тозагии баланд ба вуҷуд меоянд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: июл-09-2024