Optiki inçe film enjamlaryny öndürmek wakuum kamerasynda amala aşyrylýar we film gatlagynyň ösmegi mikroskopiki prosesdir. Şeýle-de bolsa, häzirki wagtda gönüden-göni gözegçilik edip boljak makroskopiki prosesler film gatlagynyň hili bilen gytaklaýyn gatnaşygy bolan käbir makroskopiki faktorlardyr. Şeýle-de bolsa, uzak möhletleýin dowamly synag gözlegleriniň netijesinde adamlar film syýahat enjamlaryny öndürmekde ugrukdyryş prosesi spesifikasiýasyna öwrülen we ýokary hilli optiki inçe film enjamlaryny öndürmekde möhüm rol oýnaýan bu makro faktorlaryň arasyndaky yzygiderli gatnaşygy tapdylar.
1. Wakuum örtügiň täsiri
Wakuum derejesiniň filmiň häsiýetlerine täsiri, galyndy gaz bilen film atomlary we molekulalarynyň arasynda gaz fazasynyň çaknyşmagy netijesinde dörän energiýa ýitgisi we himiki reaksiýa bilen baglanyşyklydyr. Wakuum derejesi pes bolsa, film materialynyň bug molekulalary bilen galan gaz molekulalarynyň arasynda birleşmek ähtimallygy ýokarlanýar we bug molekulalarynyň kinetiki energiýasy ep-esli azalýar, bug molekulalary substrata ýetip bilmeýär, ýa-da substratdaky gaz adsorbsion gatlagyny döwüp bilmeýär, ýöne adsorbsion energiýasy gaty az. Netijede, optiki inçe film enjamlary tarapyndan goýlan film gowşak, ýygnanma dykyzlygy pes, mehaniki güýji pes, himiki düzümi arassa däl we film gatlagynyň refraktiw görkezijisi we gatylygy pes.
Adatça wakuumyň köpelmegi bilen filmiň gurluşy gowulaşýar, himiki düzümi arassa bolýar, ýöne stres ýokarlanýar. Metal filmiň we ýarymgeçiriji filmiň arassalygy näçe ýokary bolsa, şonça-da ýokary göni boşlugy talap edýän wakuum derejesine baglydyr. Wakuum derejesine täsir eden filmleriň esasy häsiýetleri refraktiw görkeziji, dargamak, mehaniki güýç we çözülmezlikdir.
2. Depolýasiýa derejesiniň täsiri
Depozit derejesi, filmiň depozit tizligini suratlandyrýan, bir wagtyň özünde örtügiň üstünde emele gelen filmiň galyňlygy bilen aňladylýan proses birligi bolup, enjam nm · s-1.
Çökdüriliş derejesi, refraktiw görkezijä, berklige, mehaniki güýje, filmiň ýelmeşmegine we stresine aç-açan täsir edýär. Çökdürme derejesi pes bolsa, bug molekulalarynyň köpüsi substratdan gaýdyp gelýär, kristal ýadrolaryň emele gelmegi haýal bolýar we kondensasiýa diňe uly agregatlarda amala aşyrylyp bilner, şeýlelik bilen filmiň gurluşy gowşar. Depolýasiýa derejesiniň ýokarlanmagy bilen inçe we dykyz film emele geler, ýeňil dargamak azalar we berklik ýokarlanar. Şonuň üçin filmiň çökdüriliş derejesini nädip dogry saýlamalydygy bugarmak prosesinde möhüm mesele bolup, filmiň materialyna görä anyk saýlama kesgitlenmeli.
Depolýasiýa derejesini ýokarlandyrmagyň iki usuly bar: (1) bugarmak çeşmesiniň temperaturasynyň ýokarlanmagy (2) bugarmak çeşmesiniň meýdanynyň usuly.
Iş wagty: Mart-29-2024