Utrustningen integrerar magnetronsputtring och motståndsindunstningsteknik och tillhandahåller en lösning för beläggning av en mängd olika substrat.
Experimentell beläggningsutrustning används huvudsakligen vid universitet och vetenskapliga forskningsinstitutioner och kan uppfylla en mängd olika experimentella krav. Olika strukturella mål är reserverade för utrustningen, som kan flexibelt konfigureras för att möta vetenskaplig forskning och utveckling inom olika områden. Magnetronsputtringssystem, katodbågssystem, elektronstråleindunstningssystem, motståndsindunstningssystem, CVD, PECVD, jonkälla, biassystem, värmesystem, tredimensionell fixtur etc. kan väljas. Kunderna kan välja efter sina olika behov.
Utrustningen har egenskaper som vackert utseende, kompakt struktur, liten golvyta, hög automatiseringsgrad, enkel och flexibel drift, stabil prestanda och enkelt underhåll.
Utrustningen kan appliceras på plast, rostfritt stål, elektropläterad hårdvara/plastdelar, glas, keramik och andra material. Enkla metallskikt som titan, krom, silver, koppar, aluminium eller metallföreningsfilmer som TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC kan framställas.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |