Khōlo ea Epitaxial, eo hangata e bitsoang epitaxy, ke e 'ngoe ea mekhoa ea bohlokoa ka ho fetisisa ha ho etsoa thepa le lisebelisoa tsa semiconductor. Ho thoeng ke kholo ea epitaxial e maemong a itseng sebakeng se le seng sa kristale ka kholo ea lera la filimi e le 'ngoe ea sehlahisoa, kholo ea filimi e le' ngoe ea kristale e bitsoa theknoloji ea epitaxial layer epitaxial ke mathoasong a lilemo tsa bo-1960 ho silicon e le 'ngoe ea kristale e tšesaane ea ho etsa lipatlisiso ka lebaka la ho hlaha ha tsoelo-pele ea hoo e ka bang halofo ea lekholo la lilemo hona joale, batho ba khonne ho hlokomela maemo a fapaneng a semicondu. Theknoloji ea Epitaxial e rarollotse mathata a mangata likarolong tsa semiconductor discrete le lipotoloho tse kopantsoeng, ho ntlafatsa haholo ts'ebetso ea sesebelisoa. Filimi ea Epitaxial e ka laola ka nepo botenya ba eona le thepa ea doping, tšobotsi ena e lebisitse ho nts'etsopele e potlakileng ea lipotoloho tse kopaneng tsa semiconductor, ho ba sethaleng se phethahetseng haholoanyane. Silicon kristale e le 'ngoe ka ho seha, ho sila, ho bentša le mekhoa e meng ea ho lokisa, ho fumana lakane e bentšitsoeng, o ka etsa likarolo tse sa tšoaneng le li-circuits tse kopantsoeng ho eona. Empa ka makhetlo a mangata lakane ena e bentšitsoeng feela e le ts'ehetso ea mechine bakeng sa substrate, eo ho eona ho hlokahalang ho qala pele ho hōla lera la filimi e le 'ngoe ea kristale e nang le mofuta o loketseng oa conductivity le resistivity, ebe likarolo tse sa tšoaneng kapa lipotoloho tse kopantsoeng li hlahisoa ka filimi e le' ngoe ea kristale. Mokhoa ona o sebelisoa, ka mohlala, ha ho etsoa li-transistors tsa silicon tse phahameng-frequency high-power, ho rarolla likhohlano pakeng tsa ho senyeha ha motlakase le ho hanyetsa letoto. Mokelli oa transistor o hloka matla a phahameng a ho senya, a khethiloeng ke resistivity ea pn junction ea silicon wafer. E le ho finyella tlhokahalo ena, lisebelisoa tse phahameng tsa ho hanyetsa lia hlokahala. Batho ba nang le lisebelisoa tse ngata tse hanyetsanang haholo tsa mofuta oa n-mofuta oa epitaxial tse 'maloa ho isa ho tse leshome le metso e' meli tse teteaneng ka mokhoa o bobebe oa ho hanyetsa mefuta e mengata ea mofuta oa n, tlhahiso ea transistor ka har'a epitaxial layer, e rarollang matla a phahameng a ho senyeha a hlokahalang ke matla a phahameng a ho hanyetsa le ho hanyetsa mokelli o tlaase o hlokahalang ke substrate resistivity ea khanyetso pakeng tsa.
Khōlo ea "gas-phase epitaxial" ke ts'ebeliso ea pele lefapheng la semiconductor ea theknoloji ea kholo ea epitaxial e ntseng e hola, e nang le karolo ea bohlokoa ntlafatsong ea mahlale a semiconductor, e tlatsetsang haholo boleng ba lisebelisoa le lisebelisoa tsa semiconductor le ntlafatso ea ts'ebetso ea tsona. Hona joale, ho lokisoa ha filimi ea semiconductor single crystal epitaxial ke mokhoa oa bohlokoa ka ho fetisisa oa ho beha mouoane oa lik'hemik'hale. Seo ho thoeng ke mouoane oa lik'hemik'hale, ke hore, tšebeliso ea lintho tse nang le khase sebakeng se tiileng sa lik'hemik'hale, mokhoa oa ho hlahisa li-deposit tse tiileng. Theknoloji ea CVD e ka hōlisa lifilimi tsa boleng bo phahameng ba kristale e le 'ngoe, ho fumana mofuta o hlokahalang oa doping le botenya ba epitaxial, ho le bonolo ho lemoha tlhahiso ea bongata, ka hona e sebelisitsoe haholo indastering. Ho indasteri, sephaphatha sa epitaxial se lokiselitsoeng ke CVD hangata se na le likarolo tse le 'ngoe kapa tse ngata tse patiloeng, tse ka sebelisoang ho laola sebopeho sa sesebelisoa le kabo ea doping ka ho phatlalatsoa kapa ho kenngoa ha ion; thepa ea 'mele ea CVD epitaxial layer e fapane le ea lisebelisoa tse ngata,' me oksijene le carbon content ea epitaxial layer hangata e tlaase haholo, e leng molemo oa eona. Leha ho le joalo, CVD epitaxial layer ke ho le bonolo ho theha intša doping, ka dikopo tse sebetsang lokela ho nka mehato e itseng ea ho fokotsa epitaxial lera ea ho intša doping, CVD thekenoloji e ntse e le likarolong tse ling tsa boemo ba tshebetso empirical, ho hlokahala ho etsa lipatlisiso tse tebileng haholoanyane, e le hore e tsoela pele ho fumana tsoelo-pele ea theknoloji ea CVD.
Mokhoa oa ho hōla oa CVD o rarahane haholo, ka ts'ebetso ea lik'hemik'hale hangata e kenyelletsa mefuta e sa tšoaneng ea likarolo le lintho, e ka hlahisa lihlahisoa tse ngata tsa mahareng, 'me ho na le mefuta e mengata e ikemetseng, e kang mocheso, khatello, sekhahla sa phallo ea khase, joalo-joalo, ts'ebetso ea epitaxial e na le palo ea morao le morao ka ho latellana, e mong le e mong ho ntlafatsa le ho ntlafatsa. Ts'ebetso ea epitaxial e na le mehato e mengata e latellanang, e holisang le e phethahetseng. Ho hlahloba ts'ebetso le mokhoa oa ho hōla ha CVD epitaxial, pele ho tsohle, ho hlakisa ho qhibiliha ha lintho tse sebetsang sebakeng sa khase, khatello ea karolo e lekanang ea likhase tse sa tšoaneng, mekhoa e hlakileng ea kinetic le thermodynamic; joale ho utloisisa likhase tse sebetsang ho tloha karolong ea khase ho ea holim'a lipalangoang tsa boima ba substrate, ho thehoa ha moeli oa moeli oa phallo ea khase le holim'a substrate, ho hōla ha nucleus, hammoho le karabelo ea holim'a metsi, ho phalla le ho falla, 'me kahoo qetellong ho hlahisa filimi e lakatsehang. Ts'ebetsong ea kholo ea CVD, nts'etsopele le tsoelo-pele ea reactor e phetha karolo ea bohlokoa, e leng eona e khethollang boleng ba epitaxial layer. The morpholoji holim'a epitaxial lera, lattice mefokolo, kabo le taolo ya litšila, botenya le ho tšoana ha lera epitaxial ka ho toba ama tshebetso ya sesebediswa le chai.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: May-04-2024