Zariadenie integruje technológiu magnetrónového naprašovania a odporového naparovania a poskytuje riešenie pre nanášanie povlakov na rôzne substráty.
Experimentálne povlakovacie zariadenia sa používajú hlavne na univerzitách a vo vedeckých výskumných inštitúciách a môžu spĺňať rôzne experimentálne požiadavky. Pre zariadenia sú vyhradené rôzne štrukturálne ciele, ktoré je možné flexibilne konfigurovať tak, aby spĺňali vedecký výskum a vývoj v rôznych oblastiach. Je možné vybrať si magnetrónový naprašovací systém, katódový oblúkový systém, systém naparovania elektrónovým lúčom, systém odporového naparovania, CVD, PECVD, iónový zdroj, systém predpätia, vykurovací systém, trojrozmerný upínač atď. Zákazníci si môžu vybrať podľa svojich rôznych potrieb.
Zariadenie sa vyznačuje krásnym vzhľadom, kompaktnou konštrukciou, malou podlahovou plochou, vysokým stupňom automatizácie, jednoduchou a flexibilnou obsluhou, stabilným výkonom a jednoduchou údržbou.
Zariadenie je možné aplikovať na plasty, nehrdzavejúcu oceľ, galvanicky pokovované diely/plasty, sklo, keramiku a iné materiály. Je možné pripraviť jednoduché kovové vrstvy, ako je titán, chróm, striebro, meď, hliník, alebo filmy z kovových zlúčenín, ako je TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*V600(mm) | φ600*V800(mm) | φ800*V1000(mm) |