Echipamentul integrează tehnologia de pulverizare magnetronică și evaporare prin rezistență și oferă o soluție pentru acoperirea unei varietăți de substraturi diferite.
Echipamentul experimental de acoperire este utilizat în principal în universități și instituții de cercetare științifică și poate îndeplini o varietate de cerințe experimentale. Diverse ținte structurale sunt rezervate echipamentului, care poate fi configurat flexibil pentru a satisface cercetarea și dezvoltarea științifică în diferite domenii. Pot fi selectate sisteme de pulverizare magnetronică, sisteme cu arc catodic, sisteme de evaporare cu fascicul de electroni, sisteme de evaporare prin rezistență, CVD, PECVD, surse de ioni, sisteme de polarizare, sisteme de încălzire, dispozitive de fixare tridimensionale etc. Clienții pot selecta în funcție de nevoile lor diferite.
Echipamentul are caracteristici precum aspect frumos, structură compactă, suprafață mică, grad ridicat de automatizare, funcționare simplă și flexibilă, performanță stabilă și întreținere ușoară.
Echipamentul poate fi aplicat pe plastic, oțel inoxidabil, piese metalice/din plastic galvanizate, sticlă, ceramică și alte materiale. Se pot prepara straturi metalice simple, cum ar fi titan, crom, argint, cupru, aluminiu sau pelicule din compuși metalici, cum ar fi TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*Î600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |