Fordampningstemperatur og damptrykk for filmlaget

Filmlaget i fordampningskilden kan føre til at membranpartiklene i form av atomer (eller molekyler) havner i gassfasen. Under høy temperatur i fordampningskilden får atomene eller molekylene på membranoverflaten nok energi til å overvinne overflatespenningen og fordampe fra overflaten. Disse fordampede atomene eller molekylene eksisterer i gassform i et vakuum, dvs. i gassfasen, av metalliske eller ikke-metalliske materialer.

I et vakuummiljø kan oppvarmings- og fordampningsprosessene til membranmaterialer forbedres. Vakuummiljøet reduserer effekten av atmosfærisk trykk på fordampningsprosessen, noe som gjør fordampningsprosessen enklere å utføre. Ved atmosfærisk trykk må materialet utsettes for større trykk for å overvinne gassmotstanden, mens i vakuum reduseres denne motstanden betraktelig, noe som gjør materialet lettere å fordampe. I fordampningsbeleggprosessen er fordampningstemperaturen og damptrykket til fordampningskildematerialet en viktig faktor ved valg av fordampningskildemateriale. For Cd (Se, s)-belegg er fordampningstemperaturen vanligvis i området 1000 ~ 2000 ℃, så du må velge fordampningskildemateriale med passende fordampningstemperatur. For eksempel aluminium ved en atmosfærisk trykkfordampningstemperatur på 2400 ℃, vil fordampningstemperaturen synke betydelig under vakuumforhold. Dette er fordi det ikke er noen atmosfæriske molekyler i vakuumobstruksjonen, slik at aluminiumatomer eller -molekyler lettere kan fordampe fra overflaten. Dette fenomenet er en viktig fordel for vakuumfordampningsbelegg. I en vakuumatmosfære blir fordampningen av filmmaterialet enklere å utføre, slik at tynne filmer kan dannes ved lavere temperaturer. Denne lavere temperaturen reduserer oksidasjon og nedbrytning av materialet, og bidrar dermed til fremstilling av filmer av høyere kvalitet.
Under vakuumbelegg kalles trykket som dampene i filmmaterialet ekvilibrerer ved i et fast stoff eller en væske, metningsdamptrykket ved den temperaturen. Dette trykket gjenspeiler den dynamiske likevekten mellom fordampning og kondensasjon ved en gitt temperatur. Vanligvis er temperaturen i andre deler av vakuumkammeret mye lavere enn temperaturen til fordampningskilden, noe som gjør det lettere for fordampende membranatomer eller -molekyler å kondensere i andre deler av kammeret. I dette tilfellet, hvis fordampningshastigheten er større enn kondensasjonshastigheten, vil damptrykket i dynamisk likevekt nå metningsdamptrykket. Det vil si at i dette tilfellet er antallet atomer eller molekyler som fordamper lik antallet som kondenserer, og dynamisk likevekt er nådd.

– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua