Utstyret integrerer magnetronsputtering og motstandsfordampningsteknologi, og gir en løsning for belegging av en rekke forskjellige underlag.
Eksperimentelt beleggutstyr brukes hovedsakelig ved universiteter og vitenskapelige forskningsinstitusjoner, og kan oppfylle en rekke eksperimentelle krav. Ulike strukturelle mål er reservert for utstyret, som kan konfigureres fleksibelt for å møte vitenskapelig forskning og utvikling innen ulike felt. Magnetronsputteringssystem, katodebuesystem, elektronstrålefordampningssystem, motstandsfordampningssystem, CVD, PECVD, ionekilde, biassystem, varmesystem, tredimensjonal armatur, etc. kan velges. Kunder kan velge i henhold til deres ulike behov.
Utstyret har kjennetegn som vakkert utseende, kompakt struktur, lite gulvareal, høy grad av automatisering, enkel og fleksibel drift, stabil ytelse og enkelt vedlikehold.
Utstyret kan brukes på plast, rustfritt stål, galvanisert maskinvare/plastdeler, glass, keramikk og andre materialer. Enkle metalllag som titan, krom, sølv, kobber, aluminium eller metallblandingsfilmer som TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC kan fremstilles.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |