De apparatuur integreert magnetron-sputtertechnologie en weerstandsverdampingstechnologie en biedt een oplossing voor het coaten van uiteenlopende substraten.
De experimentele coatingapparatuur wordt voornamelijk gebruikt in universiteiten en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen en kan voldoen aan diverse experimentele eisen. Er zijn diverse structurele targets gereserveerd voor de apparatuur, die flexibel kunnen worden geconfigureerd om te voldoen aan wetenschappelijk onderzoek en ontwikkeling in verschillende sectoren. Magnetronsputtersystemen, kathodeboogsystemen, elektronenbundelverdampingsystemen, weerstandverdampingsystemen, CVD, PECVD, ionenbronnen, biassystemen, verwarmingssystemen en driedimensionale fixtures kunnen worden geselecteerd. Klanten kunnen kiezen op basis van hun verschillende behoeften.
De apparatuur wordt gekenmerkt door een fraai uiterlijk, een compacte structuur, een klein vloeroppervlak, een hoge mate van automatisering, eenvoudige en flexibele bediening, stabiele prestaties en eenvoudig onderhoud.
De apparatuur kan worden toegepast op kunststof, roestvrij staal, gegalvaniseerde hardware/kunststof onderdelen, glas, keramiek en andere materialen. Eenvoudige metaallagen zoals titanium, chroom, zilver, koper, aluminium of metaalverbindingen zoals TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kunnen worden vervaardigd.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |