Ko te tipu o te epitaxial, e kiia ana ko te epitaxy, tetahi o nga tikanga tino nui ki te hanga i nga rawa me nga taputapu semiconductor. Ko te mea e kiia ana ko te tipu epitaxial kei roto i etahi ahuatanga i roto i te taputapu karaihe kotahi i runga i te tipu o te paparanga o te mahi kiriata hua kotahi, ko te tipu o te kiriata kotahi-kiriata e kiia ana ko te hangarau epitaxial paparanga epitaxial ko te timatanga o nga tau 1960 i roto i te rangahau kiriata kirikiri kotahi-kiriata angiangi i runga i te putanga o te whanaketanga o te tata ki te haurua rau tau inaianei, kua taea e te iwi te ahua o te ahua o te kiriata epitaxial i raro i te ahua o te ahua o te ahua. tupuranga. He maha nga raru kua whakatauhia e te hangarau epitaxial i roto i nga waahanga motuhake semiconductor me nga iahiko whakauru, ka tino pai ake te mahi o te taputapu. Ka taea e te kiriata epitaxial te whakahaere tika i tona matotoru me nga taonga doping, na tenei ahuatanga i arahi ki te whanaketanga tere o nga hikohiko whakaurunga semiconductor, ki te waahi tino pai. Silicon kotahi tioata ma te tapatapahi, huri, oro me etahi atu tikanga tukatuka, ki te tiki pepa orohia, ka taea e koe te hanga i nga waahanga motuhake me nga iahiko whakauru ki runga. Engari i te maha o nga wa ko tenei pepa kua whakakoi noa hei tautoko miihini mo te tïpako, e tika ana kia tipu i te tuatahi he paparanga o te kiriata kirikiri kotahi me te ahua tika o te kawe me te parenga, katahi ka wehe i nga waahanga motuhake, i nga iahiko whakauru ranei ka mahia i roto i te kiriata kirikiri kotahi. Ka whakamahia tenei tikanga, hei tauira, i roto i te hanga o te silicon high-frequency high-power transistors, te whakatau i te pakanga i waenga i te ngaohiko pakaru me te aukati raupapa. Ko te kaikohi o te transistor e hiahia ana ki te ngaohiko pakaru teitei, e whakatauhia ana e te parenga o te hononga pn o te wafer silicon. Hei whakatutuki i tenei whakaritenga, ka hiahiatia nga rauemi aukati teitei. Ko nga taangata kei roto i nga momo momo-n nga rawa iti-atete i runga i te epitaxial e maha ki te tekau ma rua microns te matotoru o te paparanga momo-nui-nui, te hanga transistor i roto i te paparanga epitaxial, e whakaoti ana i te ngaohiko pakaru tiketike e hiahiatia ana e te parenga teitei me te iti o te kohinga kohinga raupapa e hiahiatia ana e te iti o te parenga o te tïpako o te taupatupatu i waenga.
Ko te tipu o te hau-waahanga epitaxial te tono tuatahi i roto i te mara semiconductor o te hangarau tipu epitaxial pakeke ake, e whai waahi nui ana ki te whanaketanga o te putaiao semiconductor, e whai waahi nui ana ki te kounga o nga rawa semiconductor me nga taputapu me o raatau mahi whakapai ake. I tenei wa, ko te whakarite o te kiriata epitaxial karaihe semiconductor ko te tikanga tino nui mo te whakangao matū matū. Ko te mea e kiia nei ko te kohu matū kohu, ara, ko te whakamahi matū hau i runga i te mata totoka o te tauhohenga matū, ko te mahi ki te whakaputa putunga totoka. Ka taea e te hangarau CVD te whakatipu i nga kiriata kirikiri-kounga teitei, ki te whiwhi i te momo doping e hiahiatia ana me te matotoru epitaxial, ngawari ki te mohio ki te hanga papatipu, na reira kua whakamahia nuitia ki te umanga. I roto i te ahumahi, ko te angiangi epitaxial kua whakaritea e te CVD he maha nga waahanga kua tanumia kotahi, neke atu ranei, ka taea te whakamahi ki te whakahaere i te hanganga o te taputapu me te tohatoha doping ma te whakamaarama me te whakauru katote; he rereke nga ahuatanga tinana o te paparanga epitaxial CVD ki era o nga rawa nui, a ko te tikanga he iti rawa te hāora me te waro i roto i te paparanga epitaxial, koinei te painga. Heoi, he ngawari te hanga o te paparanga epitaxial CVD, i roto i nga tono mahi me tango etahi tikanga hei whakaiti i te paparanga epitaxial o te self-doping, ko te hangarau CVD kei roto tonu i etahi waahanga o te ahuatanga o te tukanga empirical, me mahi rangahau hohonu, kia mau tonu ai te whakawhanaketanga o te hangarau CVD.
He tino uaua te tikanga o te tipu o te CVD, i roto i te tauhohenga matū he maha nga momo waahanga me nga matū, ka taea te whakaputa i te maha o nga hua takawaenga, a he maha nga taurangi motuhake, penei i te pāmahana, te pehanga, te rere o te hau, me etahi atu, he maha nga hokinga mai o te tukanga epitaxial, ki te whakawhanake me te whakapai ake. Ko te tukanga epitaxial he maha nga waahanga whai muri, te whakawhānui me te whakaoti i nga waahanga. Ki te wetewete i te tukanga me te tikanga o te tipu epitaxial CVD, tuatahi, ki te whakamarama i te whakarewatanga o nga matū tauhohenga i roto i te wahanga hau, te taurite te pehanga wahanga o nga momo hau, te maamaatanga o te kinetic me nga tukanga thermodynamic; katahi ka mohio ki nga hau reactive mai i te wahanga hau ki te mata o te kawe papatipu tïpako, te hanganga o te paparanga rohe o te rere hau me te mata o te tïpako, te tipu o te karihi, tae atu ki te tauhohenga o te mata, te tohatoha me te heke, a na te mutunga ka whakaputa i te kiriata e hiahiatia ana. I roto i te tukanga tipu o te CVD, ko te whanaketanga me te ahunga whakamua o te reactor he mahi nui, e whakatau ana i te kounga o te paparanga epitaxial. Ko te ahua o te mata o te paparanga epitaxial, ko nga hapa o te kupenga, te tohatoha me te whakahaere i nga poke, te matotoru me te riterite o te paparanga epitaxial e pa ana ki te mahi me te hua o te taputapu.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Mei-04-2024