Iekārta integrē magnetrona izsmidzināšanas un pretestības iztvaikošanas tehnoloģiju un nodrošina risinājumu dažādu substrātu pārklāšanai.
Eksperimentālās pārklāšanas iekārtas galvenokārt tiek izmantotas universitātēs un zinātniskās pētniecības iestādēs, un tās var apmierināt dažādas eksperimentālās prasības. Iekārtām ir paredzēti dažādi strukturālie mērķi, kurus var elastīgi konfigurēt, lai apmierinātu zinātniskās pētniecības un attīstības vajadzības dažādās jomās. Var izvēlēties magnetrona izsmidzināšanas sistēmu, katoda loka sistēmu, elektronu staru iztvaikošanas sistēmu, pretestības iztvaikošanas sistēmu, CVD, PECVD, jonu avotu, nobīdes sistēmu, sildīšanas sistēmu, trīsdimensiju stiprinājumu utt. Klienti var izvēlēties atbilstoši savām dažādajām vajadzībām.
Iekārtai piemīt skaists izskats, kompakta struktūra, neliela grīdas platība, augsta automatizācijas pakāpe, vienkārša un elastīga darbība, stabila veiktspēja un viegla apkope.
Iekārtas var izmantot plastmasas, nerūsējošā tērauda, galvanizētu furnitūras/plastmasas detaļu, stikla, keramikas un citu materiālu apstrādei. Var sagatavot vienkāršus metāla slāņus, piemēram, titāna, hroma, sudraba, vara, alumīnija vai metālu savienojumu plēves, piemēram, TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500 * H600 (mm) | φ600 * H800 (mm) | φ800 * H1000 (mm) |