Garavimo šaltinio plėvelės sluoksnis, kaitinantis garavimą, gali paversti membranos daleles atomų (arba molekulių) pavidalu į dujų fazės erdvę. Esant aukštai garinimo šaltinio temperatūrai, membranos paviršiuje esantys atomai arba molekulės įgauna pakankamai energijos, kad įveiktų paviršiaus įtempimą ir išgaruotų iš paviršiaus. Šie išgaruoti atomai arba molekulės egzistuoja dujinėje būsenoje vakuume, t. y. dujų fazės erdvėje. Metalinės arba nemetalinės medžiagos.
Vakuuminėje aplinkoje galima pagerinti membraninių medžiagų kaitinimo ir garavimo procesus. Vakuuminė aplinka sumažina atmosferos slėgio įtaką garavimo procesui, todėl garinimo procesą lengviau atlikti. Esant atmosferos slėgiui, medžiaga turi būti veikiama didesnio slėgio, kad būtų įveiktas dujų pasipriešinimas, o vakuume šis pasipriešinimas labai sumažėja, todėl medžiaga lengviau garuoja. Garinimo dengimo procese garinimo šaltinio medžiagos garavimo temperatūra ir garų slėgis yra svarbūs veiksniai renkantis garinimo šaltinio medžiagą. Cd (Se, s) dangos garavimo temperatūra paprastai yra 1000–2000 ℃, todėl reikia pasirinkti garinimo šaltinio medžiagą su tinkama garavimo temperatūra. Pavyzdžiui, aliuminio, kurio atmosferos slėgis yra 2400 ℃, garavimo temperatūra vakuume gerokai sumažės. Taip yra todėl, kad vakuumo kliūtyje nėra atmosferos molekulių, todėl aliuminio atomai ar molekulės gali būti lengviau išgaruojamos nuo paviršiaus. Šis reiškinys yra svarbus vakuuminio garinimo dangos privalumas. Vakuuminėje atmosferoje plėvelės medžiagos išgarinimas tampa lengvesnis, todėl plonos plėvelės gali būti formuojamos žemesnėje temperatūroje. Ši žemesnė temperatūra sumažina medžiagos oksidaciją ir skaidymąsi, todėl prisideda prie aukštesnės kokybės plėvelių paruošimo.
Vakuuminio dengimo metu slėgis, kuriam esant plėvelės medžiagos garai kietoje medžiagoje arba skystyje nusistovi pusiausvyroje, vadinamas sočiųjų garų slėgiu toje temperatūroje. Šis slėgis atspindi dinaminę garavimo ir kondensacijos pusiausvyrą tam tikroje temperatūroje. Paprastai temperatūra kitose vakuuminės kameros dalyse yra daug žemesnė nei garinimo šaltinio temperatūra, todėl garuojantiems membranos atomams ar molekulėms lengviau kondensuotis kitose kameros dalyse. Tokiu atveju, jei garavimo greitis yra didesnis nei kondensacijos greitis, tai dinaminėje pusiausvyroje garų slėgis pasieks sočiųjų garų slėgį. Tai yra, šiuo atveju garuojančių atomų ar molekulių skaičius yra lygus kondensuojančių atomų ar molekulių skaičiui ir pasiekiama dinaminė pusiausvyra.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. rugsėjo 27 d.