Жылытуу буулануунун буулануу булагындагы пленка катмары мембрана бөлүкчөлөрүн атомдор (же молекулалар) түрүндөгү газ фазасынын мейкиндигине киргизе алат. Буулануу булагынын жогорку температурасы астында мембрананын бетиндеги атомдор же молекулалар беттик чыңалууну жеңүүгө жана бетинен бууланууга жетиштүү энергия алышат. Бул бууланган атомдор же молекулалар вакуумда, башкача айтканда, газ фаза мейкиндигинде газ абалында болот. металл же металл эмес материалдар.
Вакуумдук чөйрөдө мембраналык материалдардын жылытуу жана буулануу процесстерин жакшыртууга болот. Вакуумдук чөйрө атмосфералык басымдын буулануу процессине таасирин азайтып, буулануу процессин жеңилдетет. Атмосфералык басымда материал газдын каршылыгын жеңүү үчүн көбүрөөк басымга дуушар болушу керек, ал эми вакуумда бул каршылык абдан азайып, материалдын бууланышын жеңилдетет. буулануу каптоо жараянында, буулануу булагы материалдын буулануу температурасы жана буу басымы буулануу булагы материалды тандоодо маанилүү фактор болуп саналат. Cd (Se, s) каптоо үчүн, анын буулануу температурасы, адатта, 1000 ~ 2000 ℃ болот, андыктан буулануу температурасы ылайыктуу буулануу булагы материалын тандоо керек. Мисалы, алюминий 2400 ℃ атмосфералык басымда буулануу температурасы, бирок вакуумдук шарттарда, анын буулануу температурасы кыйла төмөндөйт. Себеби вакуум тоскоолдугунда атмосфералык молекулалар жок, ошондуктан алюминий атомдору же молекулалары жер бетинен оңой бууланып кетиши мүмкүн. Бул көрүнүш вакуумдук буулануу каптоо үчүн маанилүү артыкчылыгы болуп саналат. Вакуумдук атмосферада пленкалык материалды буулантуу жеңилдейт, андыктан төмөнкү температурада жука пленкалар пайда болот. Бул төмөнкү температура материалдын кычкылдануусун жана ажыроосун азайтат, ошону менен жогорку сапаттагы пленкаларды даярдоого өбөлгө түзөт.
Вакуумдук каптоо учурунда пленкалуу материалдын буулары катуу же суюктукта тең салмактуу болгон басым ошол температурадагы каныккан буу басымы деп аталат. Бул басым берилген температурада буулануунун жана конденсациянын динамикалык тең салмактуулугун чагылдырат. Адатта, вакуумдук камеранын башка бөлүктөрүндөгү температура буулануу булагынын температурасынан бир топ төмөн, бул буулануучу мембрана атомдорунун же молекулаларынын камеранын башка бөлүктөрүндө конденсацияланышын жеңилдетет. Бул учурда буулануу ылдамдыгы конденсация ылдамдыгынан чоң болсо, анда динамикалык тең салмактуулукта буу басымы каныккан буу басымына жетет. Башкача айтканда, бул учурда буулануучу атомдордун же молекулалардын саны конденсацияланган санга барабар болуп, динамикалык тең салмактуулукка жетишилет.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 27-сентябрь 2024