ម៉ាស៊ីន​ស្រោប​ពណ៌​ឥន្ទធនូ

Magnetron sputtering គឺជាប្រភេទនៃការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ។ វិធីសាស្រ្ដទូទៅអាចប្រើសម្រាប់ស្រោបលោហធាតុ សារធាតុ semiconductor អ៊ីសូឡង់ និងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត ហើយមានលក្ខណៈនៃសមត្ថភាពផ្ទុកធំ ងាយស្រួលក្នុងការដំណើរការ ខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូតគឺល្អ និងរលោងជាមួយនឹង adhesion ដ៏ល្អ និងដូច្នេះនៅលើ។ Magnetron sputtering អាចបង្កើនអត្រា sputtering ដោយការណែនាំវាលម៉ាញេទិកលើផ្ទៃ cathode នៃគោលដៅ និងការប្រើប្រាស់ឧបសគ្គនៃដែនម៉ាញេទិចនៅលើភាគល្អិតដែលត្រូវបានចោទប្រកាន់ដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មា។ ម៉ាស៊ីនស្រោបបូមធូលី magnetron sputtering ពេញលេញមានផ្នែកជាច្រើន ប្រព័ន្ធនីមួយៗបំពេញមុខងារផ្សេងៗគ្នា ហើយទីបំផុតសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់ចុងក្រោយ។ ឧបករណ៍ថ្នាំកូតអុបទិក magnetron sputtering ត្រូវបានផ្សំឡើងដោយបន្ទប់បូមធូលី, សន្ទះបិទបើក, ប្រព័ន្ធបូមធូលី, ប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់ភាពខ្វះចន្លោះ, គោលដៅ cathode, រង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត, ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអេឡិចត្រូត pneumatic ជាដើម។ តួសំខាន់នៃថ្នាំកូតអុបទិក magnetron sputtering គឺបន្ទប់បូមធូលី ទំហំត្រូវបានកំណត់ដោយទំហំផលិតផល និងសមត្ថភាពនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ អង្គជំនុំជម្រះផលិតពីដែកអ៊ីណុក SUS304 មិនងាយច្រេះ ធន់ជាងដែកកាបូន និងងាយស្រួលក្នុងការថែទាំ។ ម៉ាស៊ីនបានទទួលយកបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering ប្រេកង់មធ្យម ស្រោបដោយវត្ថុធាតុអុកស៊ីតដូចជាស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ និងនីអូប៊ីយ៉ូមអុកស៊ីដ ជាដើម ជាមួយនឹងរង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តតុបតែងអុបទិក។ ខ្សែភាពយន្តដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក magnetron sputtering optical coating machine មាន adhesion ខ្លាំង និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយអាចត្រូវបាន sputtered ជាមួយសម្ភារៈជាច្រើនដែលមានសមាសធាតុផ្សេងគ្នាក្នុងពេលតែមួយ។

ដំណើរការនៃការផ្លាស់ប្តូរពណ៌បន្តិចម្តង ៗ ជាទូទៅត្រូវបានធ្វើឡើងដោយម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក magnetron sputtering ។ នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ផ្នែកខាងក្រោយនៃទូរសព្ទដៃជាច្រើនបានប្រើប្រាស់ PVD vacuum coating ដំណើរការផ្លាស់ប្តូរពណ៌បន្តិចម្តងៗ។ ជាការពិតណាស់ ម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក និងម៉ាស៊ីនស្រោបរំហួតក៏អាចបង្កើតឥទ្ធិពលពណ៌ឥន្ទធនូប្រាំពីរដូចគ្នាដែរ ប៉ុន្តែពណ៌មិនមែនជាពណ៌ជម្រាលធម្មតាទេ ហើយនៅតែមានគុណភាពខុសគ្នា។ Magnetron sputtering គឺជាប្រភេទនៃការបញ្ចេញចំហាយរាងកាយ។ វិធីសាស្រ្ដទូទៅអាចប្រើសម្រាប់ស្រោបលោហធាតុ សារធាតុ semiconductor អ៊ីសូឡង់ និងវត្ថុធាតុផ្សេងទៀត ហើយមានលក្ខណៈនៃសមត្ថភាពផ្ទុកធំ ងាយស្រួលក្នុងការដំណើរការ ខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូតគឺល្អ និងរលោងជាមួយនឹង adhesion ដ៏ល្អ និងដូច្នេះនៅលើ។

Magnetron sputtering អាចបង្កើនអត្រា sputtering ដោយការណែនាំវាលម៉ាញេទិកលើផ្ទៃ cathode នៃគោលដៅ និងការប្រើប្រាស់ឧបសគ្គនៃដែនម៉ាញេទិចនៅលើភាគល្អិតដែលត្រូវបានចោទប្រកាន់ដើម្បីបង្កើនដង់ស៊ីតេប្លាស្មា។ ម៉ាស៊ីនស្រោបបូមធូលី magnetron sputtering ពេញលេញមានផ្នែកជាច្រើន ប្រព័ន្ធនីមួយៗបំពេញមុខងារផ្សេងៗគ្នា ហើយទីបំផុតសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់ចុងក្រោយ។ ឧបករណ៍ស្រោបអុបទិក magnetron sputtering ត្រូវបានផ្សំឡើងដោយ បន្ទប់បូមធូលី សន្ទះបិទបើក ប្រព័ន្ធបូមធូលី ប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់សុញ្ញកាស គោលដៅ cathode រង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង electro-pneumatic ជាដើម។

តួសំខាន់នៃថ្នាំកូតអុបទិក magnetron sputtering គឺបន្ទប់បូមធូលី ទំហំត្រូវបានកំណត់ដោយទំហំនៃស្រទាប់ខាងក្រោមផលិតផល និងសមត្ថភាពរបស់អ្នកប្រើប្រាស់។ អង្គជំនុំជម្រះផលិតពីដែកអ៊ីណុក SUS304 មិនងាយច្រេះ ធន់ជាងដែកកាបូន និងងាយស្រួលក្នុងការថែទាំ។ ម៉ាស៊ីនបានទទួលយកបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering ប្រេកង់មធ្យម ស្រោបដោយវត្ថុធាតុអុកស៊ីតដូចជាស៊ីលីកុនអុកស៊ីដ និងនីអូប៊ីយ៉ូមអុកស៊ីដ ជាដើម ជាមួយនឹងរង្វាស់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តតុបតែងអុបទិក។ ខ្សែភាពយន្តដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនស្រោបអុបទិក magnetron sputtering optical coating machine មាន adhesion ខ្លាំង និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយអាចត្រូវបាន sputtered ជាមួយសម្ភារៈជាច្រើនដែលមានសមាសធាតុផ្សេងគ្នាក្នុងពេលតែមួយ។