Қыздыру булануының булану көзіндегі пленка қабаты атомдар (немесе молекулалар) түріндегі мембраналық бөлшектерді газ фазасының кеңістігіне айналдыра алады. Булану көзінің жоғары температурасы кезінде мембрана бетіндегі атомдар немесе молекулалар беттік керілуді жеңу және бетінен булану үшін жеткілікті энергия алады. Бұл буланған атомдар немесе молекулалар вакуумда, яғни газ фазалық кеңістікте газ күйінде болады. металл немесе металл емес материалдар.
Вакуумдық ортада мембраналық материалдарды қыздыру және булану процестерін жақсартуға болады. Вакуумдық орта атмосфералық қысымның булану процесіне әсерін азайтып, булану процесін жеңілдетеді. Атмосфералық қысымда материал газдың кедергісін жеңу үшін үлкен қысымға ұшырауы керек, ал вакуумда бұл кедергі айтарлықтай төмендейді, бұл материалдың булануын жеңілдетеді. Булану жабыны процесінде булану бастапқы материалының булану температурасы мен бу қысымы булану бастапқы материалын таңдауда маңызды фактор болып табылады. Cd (Se, s) жабыны үшін оның булану температурасы әдетте 1000 ~ 2000 ℃ болады, сондықтан булану температурасы сәйкес келетін булану көзін таңдау керек. Алюминий сияқты атмосфералық қысымның булану температурасы 2400 ℃, бірақ вакуумдық жағдайда оның булану температурасы айтарлықтай төмендейді. Себебі вакуум кедергісінде атмосфералық молекулалар жоқ, сондықтан алюминий атомдары немесе молекулалары бетінен оңайырақ булануы мүмкін. Бұл құбылыс вакуумды булану жабыны үшін маңызды артықшылық болып табылады. Вакуумдық атмосферада пленка материалының булануы жеңілірек болады, сондықтан төмен температурада жұқа қабықшалар пайда болады. Бұл төмен температура материалдың тотығуы мен ыдырауын азайтады, осылайша жоғары сапалы пленкаларды дайындауға ықпал етеді.
Вакуумдық жабын кезінде қатты немесе сұйық күйдегі пленка материалының булары теңестірілетін қысымды сол температурадағы қанықтыру буының қысымы деп атайды. Бұл қысым берілген температурадағы булану мен конденсацияның динамикалық тепе-теңдігін көрсетеді. Әдетте, вакуумдық камераның басқа бөліктеріндегі температура булану көзінің температурасынан әлдеқайда төмен, бұл камераның басқа бөліктерінде булану мембрана атомдарының немесе молекулаларының конденсациялануын жеңілдетеді. Бұл жағдайда булану жылдамдығы конденсация жылдамдығынан үлкен болса, динамикалық тепе-теңдікте бу қысымы қаныққан бу қысымына жетеді. Яғни, бұл жағдайда буланатын атомдар немесе молекулалар саны конденсацияланатын санға тең болып, динамикалық тепе-теңдік орнайды.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 27 қыркүйек 2024 ж