L'apparecchiatura integra la tecnologia di sputtering magnetron e di evaporazione a resistenza e fornisce una soluzione per il rivestimento di una varietà di substrati diversi.
Le apparecchiature di rivestimento sperimentale sono utilizzate principalmente in università e istituti di ricerca scientifica e possono soddisfare una varietà di requisiti sperimentali. Sono previste diverse specifiche strutturali per le apparecchiature, che possono essere configurate in modo flessibile per soddisfare le esigenze di ricerca e sviluppo in diversi settori. È possibile selezionare sistemi di sputtering magnetron, sistemi ad arco catodico, sistemi di evaporazione a fascio di elettroni, sistemi di evaporazione a resistenza, CVD, PECVD, sorgenti di ioni, sistemi di polarizzazione, sistemi di riscaldamento, dispositivi tridimensionali, ecc. I clienti possono scegliere in base alle loro diverse esigenze.
L'attrezzatura è caratterizzata da un aspetto gradevole, una struttura compatta, una superficie ridotta, un elevato grado di automazione, un funzionamento semplice e flessibile, prestazioni stabili e una facile manutenzione.
L'attrezzatura può essere applicata a plastica, acciaio inossidabile, componenti in plastica/hardware galvanizzati, vetro, ceramica e altri materiali. È possibile preparare strati metallici semplici come titanio, cromo, argento, rame, alluminio o film di composti metallici come TiN / TiCN / TiC / TiO₂ / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |