Filmulag í uppgufunargjafanum getur valdið því að himnuagnir mynda atóm (eða sameindir) í gasfasarýminu. Við háan hita uppgufunargjafans fá atóm eða sameindir á yfirborði himnunnar næga orku til að yfirstíga yfirborðsspennuna og gufa upp af yfirborðinu. Þessi uppgufuðu atóm eða sameindir eru í gasformi í lofttæmi, þ.e. gasfasarýminu. Hvort sem um er að ræða málm- eða málmlaus efni.
Í lofttæmisumhverfi er hægt að bæta upphitunar- og uppgufunarferli himnuefna. Lofttæmisumhverfið dregur úr áhrifum loftþrýstings á uppgufunarferlið, sem gerir uppgufunarferlið auðveldara í framkvæmd. Við lofttæmisþrýsting þarf að beita meiri þrýstingi á efnið til að yfirstíga viðnám gassins, en í lofttæmi minnkar þessi viðnám verulega, sem gerir efnið auðveldara að gufa upp. Í uppgufunarferlinu eru uppgufunarhitastig og gufuþrýstingur uppgufunarefnisins mikilvægur þáttur við val á uppgufunarefni. Fyrir Cd (Se, s) húðun er uppgufunarhitastig þess venjulega á bilinu 1000 ~ 2000 ℃, þannig að þú þarft að velja uppgufunarefni með viðeigandi uppgufunarhitastigi. Til dæmis, við ál við loftþrýsting uppgufunarhitastig 2400 ℃, en í lofttæmi mun uppgufunarhitastig þess lækka verulega. Þetta er vegna þess að engar lofttæmissameindir eru í lofttæmishindruninni, þannig að ál atóm eða sameindir geta auðveldlega gufað upp af yfirborðinu. Þetta fyrirbæri er mikilvægur kostur við lofttæmisuppgufunarhúðun. Í lofttæmi verður auðveldara að uppgufa filmuefnið, þannig að þunnar filmur geta myndast við lægra hitastig. Þetta lægra hitastig dregur úr oxun og niðurbroti efnisins og stuðlar þannig að framleiðslu á hágæða filmum.
Við lofttæmishúðun er þrýstingurinn sem gufur filmuefnisins ná jafnvægi við í föstu eða vökvaformi kallaður mettunargufuþrýstingur við það hitastig. Þessi þrýstingur endurspeglar jafnvægi uppgufunar og þéttingar við gefið hitastig. Venjulega er hitastigið í öðrum hlutum lofttæmishólfsins mun lægra en hitastig uppgufunargjafans, sem auðveldar uppgufandi himnuatómum eða sameindum að þéttast í öðrum hlutum hólfsins. Í þessu tilfelli, ef uppgufunarhraðinn er meiri en þéttingarhraðinn, þá mun gufuþrýstingurinn í jafnvægi ná mettunargufuþrýstingi. Það er að segja, í þessu tilfelli er fjöldi atóma eða sameinda sem gufa upp jafn fjöldi sem þéttist og jafnvægi næst.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 27. september 2024