Թաղանթի շերտի գոլորշիացման ջերմաստիճանը և գոլորշու ճնշումը

Գոլորշիացման աղբյուրի թաղանթային շերտը կարող է տաքացնել գոլորշիացումը և թաղանթի մասնիկները ատոմների (կամ մոլեկուլների) տեսքով տեղափոխել գազային փուլային տարածություն: Գոլորշիացման աղբյուրի բարձր ջերմաստիճանի տակ թաղանթի մակերեսին գտնվող ատոմները կամ մոլեկուլները ստանում են բավարար էներգիա՝ մակերեսային լարվածությունը հաղթահարելու և մակերեսից գոլորշիանալու համար: Այս գոլորշիացված ատոմները կամ մոլեկուլները գոյություն ունեն գազային վիճակում վակուումում, այսինքն՝ գազային փուլային տարածությունում: Մետաղական կամ ոչ մետաղական նյութեր:

Վակուումային միջավայրում թաղանթային նյութերի տաքացման և գոլորշիացման գործընթացները կարող են բարելավվել: Վակուումային միջավայրը նվազեցնում է մթնոլորտային ճնշման ազդեցությունը գոլորշիացման գործընթացի վրա, ինչը հեշտացնում է գոլորշիացման գործընթացը: Մթնոլորտային ճնշման դեպքում նյութը պետք է ենթարկվի ավելի մեծ ճնշման՝ գազի դիմադրությունը հաղթահարելու համար, մինչդեռ վակուումում այս դիմադրությունը զգալիորեն նվազում է, ինչը հեշտացնում է նյութի գոլորշիացումը: Գոլորշիացման ծածկույթի գործընթացում գոլորշիացման աղբյուրի նյութի գոլորշիացման ջերմաստիճանը և գոլորշիների ճնշումը կարևոր գործոն են գոլորշիացման աղբյուրի նյութը ընտրելու համար: Cd (Se, s) ծածկույթի համար դրա գոլորշիացման ջերմաստիճանը սովորաբար 1000 ~ 2000 ℃ է, ուստի անհրաժեշտ է ընտրել գոլորշիացման աղբյուրի նյութ՝ համապատասխան գոլորշիացման ջերմաստիճանով: Օրինակ՝ ալյումինը 2400 ℃ մթնոլորտային ճնշման գոլորշիացման ջերմաստիճանում, բայց վակուումային պայմաններում դրա գոլորշիացման ջերմաստիճանը զգալիորեն կնվազի: Դա պայմանավորված է նրանով, որ վակուումային խոչընդոտում մթնոլորտային մոլեկուլներ չկան, ուստի ալյումինի ատոմները կամ մոլեկուլները կարող են ավելի հեշտությամբ գոլորշիանալ մակերեսից: Այս երևույթը վակուումային գոլորշիացման ծածկույթի կարևոր առավելություն է: Վակուումային մթնոլորտում թաղանթային նյութի գոլորշիացումն ավելի հեշտ է դառնում, ուստի բարակ թաղանթները կարող են ձևավորվել ավելի ցածր ջերմաստիճաններում: Այս ցածր ջերմաստիճանը նվազեցնում է նյութի օքսիդացումը և քայքայումը, այդպիսով նպաստելով ավելի բարձր որակի թաղանթների պատրաստմանը:
Վակուումային ծածկույթի ժամանակ թաղանթային նյութի գոլորշիների հավասարակշռության հասնելու ճնշումը պինդ կամ հեղուկ վիճակում կոչվում է հագեցած գոլորշիների ճնշում այդ ջերմաստիճանում: Այս ճնշումը արտացոլում է գոլորշիացման և խտացման դինամիկ հավասարակշռությունը տվյալ ջերմաստիճանում: Սովորաբար, վակուումային խցիկի այլ մասերում ջերմաստիճանը շատ ավելի ցածր է, քան գոլորշիացման աղբյուրի ջերմաստիճանը, ինչը հեշտացնում է գոլորշիացող թաղանթային ատոմների կամ մոլեկուլների խտացումը խցիկի այլ մասերում: Այս դեպքում, եթե գոլորշիացման արագությունը մեծ է խտացման արագությունից, ապա դինամիկ հավասարակշռության դեպքում գոլորշիների ճնշումը կհասնի հագեցած գոլորշիների ճնշմանը: Այսինքն՝ այս դեպքում գոլորշիացող ատոմների կամ մոլեկուլների քանակը հավասար է խտացողների քանակին, և հասնում ենք դինամիկ հավասարակշռության:

- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա