A párolgási forrásban lévő filmréteg a hőelpárolgás során a membrán részecskéit atomok (vagy molekulák) formájában a gázfázisú térbe juttathatja. A párolgási forrás magas hőmérséklete alatt a membrán felületén lévő atomok vagy molekulák elegendő energiát kapnak ahhoz, hogy leküzdjék a felületi feszültséget és elpárologjanak a felületről. Ezek az elpárologtatott atomok vagy molekulák gáz halmazállapotban vannak vákuumban, azaz a gázfázisú térben. fémes vagy nemfémes anyagok.
Vákuumkörnyezetben a membránanyagok melegítési és párolgási folyamatai javíthatók. A vákuumkörnyezet csökkenti a légköri nyomás hatását a párolgási folyamatra, így a párolgási folyamat könnyebben végrehajtható. Légköri nyomáson az anyagot nagyobb nyomásnak kell alávetni a gáz ellenállásának leküzdéséhez, míg vákuumban ez az ellenállás jelentősen csökken, így az anyag könnyebben elpárolog. A párolgásos bevonási eljárás során a párolgási forrásanyag párolgási hőmérséklete és gőznyomása fontos tényező a párolgási forrásanyag kiválasztásában. A Cd (Se, s) bevonat esetében a párolgási hőmérséklet általában 1000 ~ 2000 ℃ között van, ezért megfelelő párolgási hőmérsékletű párolgási forrásanyagot kell választani. Ilyen például az alumínium légköri nyomáson 2400 ℃-os párolgási hőmérséklettel, de vákuumkörülmények között a párolgási hőmérséklete jelentősen csökken. Ez azért van, mert nincsenek légköri molekulák a vákuum elzáródásában, így az alumíniumatomok vagy molekulák könnyebben elpárologhatnak a felületről. Ez a jelenség fontos előnye a vákuumos párolgásos bevonatolásnak. Vákuum atmoszférában a filmanyag elpárologtatása könnyebben elvégezhető, így alacsonyabb hőmérsékleten vékony filmek képződhetnek. Ez az alacsonyabb hőmérséklet csökkenti az anyag oxidációját és bomlását, ezáltal hozzájárulva a jobb minőségű filmek előállításához.
Vákuumbevonás során azt a nyomást, amelyen a filmanyag gőzei egyensúlyba kerülnek egy szilárd vagy folyékony halmazállapotú anyagban, telítési gőznyomásnak nevezzük az adott hőmérsékleten. Ez a nyomás tükrözi a párolgás és a kondenzáció dinamikus egyensúlyát egy adott hőmérsékleten. A vákuumkamra más részein a hőmérséklet jellemzően sokkal alacsonyabb, mint a párologtató forrás hőmérséklete, ami megkönnyíti a membrán atomjainak vagy molekuláinak párologtatását a kamra más részein. Ebben az esetben, ha a párolgás sebessége nagyobb, mint a kondenzáció sebessége, akkor dinamikus egyensúlyban a gőznyomás eléri a telítési gőznyomást. Vagyis ebben az esetben a párolgó atomok vagy molekulák száma megegyezik a kondenzálódók számával, és beáll a dinamikus egyensúly.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. szeptember 27.