Inneal còmhdach sputtering airson còmhdach a dhèanamh air dathan bogha-froise

'S e seòrsa de thasgadh smùid corporra a th' ann an sputtering magnetron. Faodar an dòigh sputtering choitcheann a chleachdadh gus còmhdach a dhèanamh air meatailt, leth-chonnsachaidh, inslitheach agus stuthan eile, agus tha feartan aige leithid comas luchdachadh mòr, furasta obrachadh, tha am film còmhdach gu math mìn agus rèidh, le deagh ghreamachadh agus mar sin air adhart. Faodaidh sputtering magnetron an ìre sputtering a mheudachadh le bhith a’ toirt a-steach raon magnetach air uachdar catod an targaid agus a’ cleachdadh cuingealachadh an raoin magnetach air na mìrean luchdaichte gus dùmhlachd a’ phlasma a mheudachadh. Tha inneal còmhdach falamh sputtering magnetron iomlan air a dhèanamh suas de dh’ iomadh pàirt, bidh gach siostam a’ coileanadh diofar dhleastanasan, agus mu dheireadh a’ coileanadh a’ chòmhdaich àrd-inbhe mu dheireadh. Tha an uidheamachd còmhdach optigeach sputtering magnetron air a dhèanamh suas de sheòmar falamh, bhalbha, siostam pumpaidh falamh, siostam tomhais falamh, targaid catod, tomhas tighead film, siostam smachd electro-niùmatach, msaa. Is e seòmar falamh prìomh bhodhaig a’ chòtaiche optigeach sputtering magnetron, tha am meud air a dhearbhadh le meud an t-substrate toraidh agus comas an neach-cleachdaidh. Tha an seòmar air a dhèanamh de stàilinn gun smal SUS304, nach eil furasta a mheirgeadh, nas seasmhaiche na stàilinn charboin agus furasta a chumail suas. Tha an inneal air teicneòlas còmhdach sputtering meadhan-tricead a chleachdadh, a’ còmhdach le stuthan ogsaid leithid silicon ogsaid agus niobium ogsaid msaa, le tomhas tiugh film gus film sgeadachaidh optigeach a dhèanamh. Tha greamachadh làidir agus purrachd àrd aig an fhilm air a dhèanamh leis an inneal còmhdach optigeach sputtering magnetron, agus faodar a sputteradh le measgachadh de stuthan le diofar phàirtean aig an aon àm.

Mar as trice, bidh am pròiseas airson dath atharrachadh mean air mhean air a dhèanamh le inneal còmhdach optigeach sputtering magnetron. An-dràsta, bidh còmhdach cùil mòran fhònaichean-làimhe a’ cleachdadh pròiseas atharrachaidh mean air mhean le còmhdach falamh PVD. Gu dearbh, faodaidh inneal còmhdach optigeach agus inneal còmhdach falmhachaidh buaidh dath seachd-bogha-froise coltach ris a dhèanamh, ach chan eil na dathan nan claonaidhean cunbhalach agus tha eadar-dhealachaidhean ann fhathast ann an càileachd. Tha sputtering magnetron na sheòrsa de thasgadh smùid corporra. Faodar an dòigh sputtering choitcheann a chleachdadh gus meatailt, leth-chonnsachaidh, inslitheach agus stuthan eile a chòmhdach, agus tha na feartan aige comas luchdachadh mòr, furasta obrachadh, tha am film còmhdach gu math mìn agus rèidh, le deagh ghreamachadh agus mar sin air adhart.

Faodaidh spùtadh magnetron an ìre spùtaidh a mheudachadh le bhith a’ cur raon magnetach air uachdar catod an targaid agus a’ cleachdadh cuingealachadh an raoin magnetach air na mìrean luchdaichte gus dùmhlachd a’ phlasma a mheudachadh. Tha inneal còmhdach falamh spùtadh magnetron iomlan air a dhèanamh suas de dh’ iomadh pàirt, bidh gach siostam a’ coileanadh diofar dhleastanasan, agus mu dheireadh a’ coileanadh a’ chòta àrd-inbhe mu dheireadh. Tha an uidheamachd còmhdach optigeach spùtadh magnetron air a dhèanamh suas de sheòmar falamh, bhalbha, siostam pumpaidh falamh, siostam tomhais falamh, targaid catod, tomhas tighead film, siostam smachd electro-niùmatach, msaa.

Is e seòmar falamh prìomh phàirt an inneil-chòmhdaich optaigeach sputtering magnetron, agus tha am meud air a dhearbhadh le meud an t-substrate toraidh agus comas an neach-cleachdaidh. Tha an seòmar air a dhèanamh de stàilinn gun smal SUS304, nach eil furasta a mheirgeadh, nas seasmhaiche na stàilinn charboin agus furasta a chumail suas. Tha an inneal a’ cleachdadh teicneòlas còmhdach sputtering tricead meadhanach, a’ còmhdach le stuthan ogsaid leithid silicon ogsaid agus niobium ogsaid msaa, le tomhas tiugh film gus film sgeadachaidh optaigeach a dhèanamh. Tha greamachadh làidir agus purrachd àrd aig an fhilm air a dhèanamh leis an inneal còmhdach optaigeach sputtering magnetron, agus faodar a sputteradh le measgachadh de stuthan le diofar phàirtean aig an aon àm.