Meaisín sciath sputtering chun dathanna tuar ceatha a chóta

Is cineál taiscthe gaile fisiciúil é spútaráil maighnéadróin. Is féidir an modh spútarála ginearálta a úsáid chun miotal, leathsheoltóir, inslitheoir agus ábhair eile a chóta, agus tá tréithe aige maidir le cumas lódála mór, éasca le hoibriú, tá an scannán sciath an-mhín agus réidh, le greamaitheacht mhaith agus mar sin de. Is féidir le spútaráil maighnéadróin an ráta spútarála a mhéadú trí réimse maighnéadach a thabhairt isteach ar dhromchla catóide an sprice agus trí shrianadh an réimse mhaighnéadaigh ar na cáithníní luchtaithe a úsáid chun dlús an phlasma a mhéadú. Tá meaisín sciath folúis spútarála maighnéadróin iomlán comhdhéanta de go leor codanna, comhlíonann gach córas feidhmeanna difriúla, agus ar deireadh baintear an sciath ardchaighdeáin deiridh amach. Tá an trealamh sciath optúil spútarála maighnéadróin comhdhéanta de sheomra folúis, comhla, córas caidéil folúis, córas tomhais folúis, sprioc catóide, tomhasaire tiús scannáin, córas rialaithe leictrea-aeroibrithe, etc. Is seomra folúis príomhchorp an chótálaí optúil spútarála maighnéadróin, agus cinntear an méid de réir mhéid an tsubstráit táirge agus cumas an úsáideora. Tá an seomra déanta as cruach dhosmálta SUS304, nach bhfuil éasca le meirgeadh, atá níos marthanaí ná cruach carbóin agus atá éasca le cothabháil. Ghlac an meaisín le teicneolaíocht sciath spútarála meánmhinicíochta, ag sciathú le hábhair ocsaíde amhail ocsaíd sileacain agus ocsaíd niobium etc., le tomhasair tiús scannáin chun scannán maisiúil optúil a dhéanamh. Tá greamaitheacht láidir agus íonacht ard ag an scannán a dhéantar leis an meaisín sciath optúil spútarála maighnéadróin, agus is féidir é a spútaráil le réimse ábhar le comhpháirteanna éagsúla ag an am céanna.

De ghnáth, déantar an próiseas athraithe datha de réir a chéile le meaisín sciath optúil spútarála maighnéadróin. Faoi láthair, glacann clúdach cúil go leor fón póca le próiseas athraithe datha de réir a chéile sciath folúis PVD. Ar ndóigh, is féidir le meaisín sciath optúil agus meaisín sciath galúcháin éifeacht dathanna seacht dtuar ceatha den chineál céanna a chruthú freisin, ach níl na dathanna grádáin rialta agus tá difríochtaí cáilíochta ann fós. Is cineál taiscthe gaile fisiciúil é spútaráil maighnéadróin. Is féidir an modh ginearálta spútarála a úsáid chun miotal, leathsheoltóir, inslitheoir agus ábhair eile a sciathú, agus tá tréithe aige maidir le cumas lódála mór, éasca le hoibriú, tá an scannán sciath an-mhín agus réidh, le greamaitheacht mhaith agus mar sin de.

Is féidir le spútaradh maighnéadróin an ráta spútaraidh a mhéadú trí réimse maighnéadach a thabhairt isteach ar dhromchla catóide an sprice agus srianadh an réimse mhaighnéadaigh ar na cáithníní luchtaithe a úsáid chun dlús an phlasma a mhéadú. Tá meaisín sciath folúis spútaradh maighnéadróin iomlán comhdhéanta de go leor codanna, comhlíonann gach córas feidhmeanna difriúla, agus ar deireadh baintear an sciath ardchaighdeáin deiridh amach. Tá an trealamh sciath optúil spútaradh maighnéadróin comhdhéanta de sheomra folúis, comhla, córas caidéil folúis, córas tomhais folúis, sprioc catóide, tomhasaire tiús scannáin, córas rialaithe leictrea-aeroibrithe, etc.

Is seomra folúis é príomhchorp an chótálaí optúil spútarála maighnéadróin, agus braitheann méid an tsubstráit táirge agus acmhainn an úsáideora ar an méid. Tá an seomra déanta as cruach dhosmálta SUS304, nach bhfuil éasca le meirgeadh, atá níos marthanaí ná cruach carbóin agus atá éasca le cothabháil. Ghlac an meaisín le teicneolaíocht sciath spútarála meánmhinicíochta, ag sciathú le hábhair ocsaíde amhail ocsaíd sileacain agus ocsaíd niobium etc., le tomhasair tiús scannáin chun scannán maisiúil optúil a dhéanamh. Tá greamaitheacht láidir agus íonacht ard ag an scannán a dhéantar leis an meaisín sciath optúil spútarála maighnéadróin, agus is féidir é a spútaráil le réimse ábhar le comhpháirteanna éagsúla ag an am céanna.