Lämmityshaihdutuslähteen kalvokerros voi muuttaa kalvon hiukkaset atomien (tai molekyylien) muodossa kaasufaasitilaan. Haihdutuslähteen korkeassa lämpötilassa kalvon pinnalla olevat atomit tai molekyylit saavat riittävästi energiaa pintajännityksen voittamiseksi ja haihtuakseen pinnalta. Nämä haihtuneet atomit tai molekyylit ovat kaasumaisessa tilassa tyhjiössä eli kaasufaasitilassa. Metalliset tai ei-metalliset materiaalit.
Tyhjiöympäristössä kalvomateriaalien lämmitys- ja haihtumisprosesseja voidaan parantaa. Tyhjiöympäristö vähentää ilmakehän paineen vaikutusta haihtumisprosessiin, mikä helpottaa haihtumisprosessin suorittamista. Ilmanpaineessa materiaaliin on kohdistettava suurempi paine kaasun vastuksen voittamiseksi, kun taas tyhjiössä tämä vastus pienenee huomattavasti, mikä helpottaa materiaalin haihtumista. Haihdutuspinnoitusprosessissa haihtumislähdemateriaalin haihtumislämpötila ja höyrynpaine ovat tärkeitä tekijöitä haihtumislähdemateriaalin valinnassa. Cd (Se, s) -pinnoitteen haihtumislämpötila on yleensä 1000–2000 ℃, joten on valittava sopivan haihtumislämpötilan omaava haihtumislähdemateriaali. Kuten alumiinin haihtumislämpötila ilmakehän paineessa on 2400 ℃, mutta tyhjiöolosuhteissa sen haihtumislämpötila laskee merkittävästi. Tämä johtuu siitä, että tyhjiössä ei ole ilmakehän molekyylejä, joten alumiiniatomit tai -molekyylit haihtuvat helpommin pinnalta. Tämä ilmiö on tärkeä etu tyhjiöhaihdutuspinnoitteessa. Tyhjiöatmosfäärissä kalvomateriaalin haihduttaminen on helpompaa, joten ohuita kalvoja voidaan muodostaa alhaisemmissa lämpötiloissa. Tämä alhaisempi lämpötila vähentää materiaalin hapettumista ja hajoamista, mikä edistää korkealaatuisempien kalvojen valmistusta.
Tyhjiöpinnoituksen aikana painetta, jossa kalvomateriaalin höyryt tasapainottuvat kiinteässä aineessa tai nesteessä, kutsutaan kyllästyshöyrynpaineeksi kyseisessä lämpötilassa. Tämä paine heijastaa haihtumisen ja kondensoitumisen dynaamista tasapainoa tietyssä lämpötilassa. Tyypillisesti lämpötila tyhjiökammion muissa osissa on paljon alhaisempi kuin haihdutuslähteen lämpötila, mikä helpottaa haihtuvien kalvoatomien tai -molekyylien tiivistymistä kammion muissa osissa. Tässä tapauksessa, jos haihtumisnopeus on suurempi kuin kondensoitumisnopeus, dynaamisessa tasapainossa höyrynpaine saavuttaa kyllästyshöyrynpaineen. Toisin sanoen tässä tapauksessa haihtuvien atomien tai molekyylien lukumäärä on yhtä suuri kuin tiivistyvien atomien tai molekyylien lukumäärä, ja dynaaminen tasapaino saavutetaan.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisuaika: 27.9.2024