Laite yhdistää magnetronisputteroinnin ja vastushaihdutuksen tekniikan ja tarjoaa ratkaisun useiden eri materiaalien pinnoittamiseen.
Kokeellisia pinnoituslaitteita käytetään pääasiassa yliopistoissa ja tieteellisissä tutkimuslaitoksissa, ja ne voivat täyttää erilaisia kokeellisia vaatimuksia. Laitteille on varattu erilaisia rakenteellisia kohteita, jotka voidaan konfiguroida joustavasti vastaamaan eri alojen tieteellisen tutkimuksen ja kehityksen tarpeisiin. Valittavana on magnetronisputterointijärjestelmä, katodikaarijärjestelmä, elektronisuihkuhöyrystysjärjestelmä, vastushöyrystysjärjestelmä, CVD, PECVD, ionilähde, esijännitejärjestelmä, lämmitysjärjestelmä, kolmiulotteinen kiinnitin jne. Asiakkaat voivat valita erilaisten tarpeidensa mukaan.
Laitteella on kauniin ulkonäön, kompaktin rakenteen, pienen lattiapinta-alan, korkean automaatioasteen, yksinkertaisen ja joustavan toiminnan, vakaan suorituskyvyn ja helpon huollon ominaisuudet.
Laitteita voidaan käyttää muovin, ruostumattoman teräksen, galvanoitujen metalliosien, lasin, keramiikan ja muiden materiaalien työstämiseen. Niillä voidaan valmistaa yksinkertaisia metallikerroksia, kuten titaania, kromia, hopeaa, kuparia, alumiinia tai metalliyhdistekalvoja, kuten TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500 * K600 (mm) | φ600 * K800 (mm) | φ800 * H1000 (mm) |