این تجهیزات، فناوریهای کندوپاش مگنترون و تبخیر مقاومتی را با هم ادغام کرده و راهکاری برای پوششدهی انواع زیرلایههای مختلف ارائه میدهد.
تجهیزات پوششدهی تجربی عمدتاً در دانشگاهها و مؤسسات تحقیقات علمی مورد استفاده قرار میگیرند و میتوانند طیف وسیعی از نیازهای تجربی را برآورده کنند. اهداف ساختاری متنوعی برای این تجهیزات در نظر گرفته شده است که میتوانند به صورت انعطافپذیر پیکربندی شوند تا پاسخگوی تحقیقات و توسعه علمی در زمینههای مختلف باشند. سیستم کندوپاش مگنترون، سیستم قوس کاتدی، سیستم تبخیر پرتو الکترونی، سیستم تبخیر مقاومتی، CVD، PECVD، منبع یون، سیستم بایاس، سیستم گرمایش، فیکسچر سهبعدی و غیره را میتوان انتخاب کرد. مشتریان میتوانند بر اساس نیازهای مختلف خود انتخاب کنند.
این تجهیزات دارای ویژگیهای ظاهری زیبا، ساختار جمع و جور، مساحت کف کوچک، درجه اتوماسیون بالا، عملکرد ساده و انعطافپذیر، عملکرد پایدار و نگهداری آسان هستند.
این دستگاه را میتوان روی پلاستیک، فولاد ضد زنگ، قطعات فلزی آبکاری شده/پلاستیکی، شیشه، سرامیک و سایر مواد اعمال کرد. لایههای فلزی ساده مانند تیتانیوم، کروم، نقره، مس، آلومینیوم یا فیلمهای ترکیبی فلزی مانند TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC را میتوان با آن تهیه کرد.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500 * H600 (میلی متر) | φ600 * H800 (میلی متر) | φ800 * H1000 (میلی متر) |