Aurustusallika kuumutusaurutamise kilekiht võib muuta membraani osakesed aatomite (või molekulide) kujul gaasifaasiruumi. Aurustusallika kõrge temperatuuri all saavad membraani pinnal olevad aatomid või molekulid piisavalt energiat, et ületada pindpinevus ja aurustuda pinnalt. Need aurustunud aatomid või molekulid eksisteerivad gaasilises olekus vaakumis, st gaasifaasiruumis. Metallilised või mittemetallilised materjalid.
Vaakumkeskkonnas saab membraanimaterjalide kuumenemis- ja aurustumisprotsesse parandada. Vaakumkeskkond vähendab atmosfäärirõhu mõju aurustumisprotsessile, muutes aurustumisprotsessi lihtsamaks. Atmosfäärirõhul tuleb materjalile avaldada suuremat rõhku, et ületada gaasi takistus, samas kui vaakumis on see takistus oluliselt väiksem, muutes materjali aurustumise kergemaks. Aurustuskatmisprotsessis on aurustumisallika materjali aurustumistemperatuur ja aururõhk olulised tegurid aurustumisallika materjali valikul. Cd (Se, s) katte puhul on selle aurustumistemperatuur tavaliselt 1000–2000 ℃, seega tuleb valida sobiva aurustumistemperatuuriga aurustumisallika materjal. Näiteks alumiiniumi aurustumistemperatuur atmosfäärirõhul on 2400 ℃, kuid vaakumtingimustes langeb selle aurustumistemperatuur oluliselt. See on tingitud asjaolust, et vaakumtakistuses ei ole atmosfäärimolekule, mistõttu alumiiniumi aatomid või molekulid aurustuvad pinnalt kergemini. See nähtus on vaakumaurustuskatmise oluline eelis. Vaakumkeskkonnas on kilematerjali aurustamine lihtsam, mistõttu saab õhukesi kilesid moodustada madalamatel temperatuuridel. See madalam temperatuur vähendab materjali oksüdeerumist ja lagunemist, aidates seega kaasa kvaliteetsemate kilede valmistamisele.
Vaakumkatmise ajal nimetatakse kilematerjali aurude tasakaalustumise rõhku tahkes või vedelas olekus küllastusauru rõhuks sellel temperatuuril. See rõhk peegeldab aurustumise ja kondenseerumise dünaamilist tasakaalu antud temperatuuril. Tavaliselt on vaakumkambri teiste osade temperatuur palju madalam kui aurustusallika temperatuur, mis hõlbustab aurustuvate membraani aatomite või molekulide kondenseerumist kambri teistes osades. Sellisel juhul, kui aurustumiskiirus on suurem kui kondenseerumiskiirus, siis dünaamilises tasakaalus saavutab aururõhk küllastusauru rõhu. See tähendab, et sel juhul on aurustuvate aatomite või molekulide arv võrdne kondenseeruvate aatomite või molekulide arvuga ja dünaamiline tasakaal on saavutatud.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 27. september 2024