1. Beim Verbinden von Vakuumkomponenten wie Ventilen, Abscheidern, Staubabscheidern und Vakuumpumpen ist darauf zu achten, dass die Förderleitungen möglichst kurz sind, einen großen Durchflussquerschnitt aufweisen und der Leitungsdurchmesser mindestens dem Pumpenanschlussdurchmesser entspricht. Dies ist ein wichtiges Prinzip der Systemauslegung. Gleichzeitig muss die einfache Installation und Wartung berücksichtigt werden. Um Vibrationen zu vermeiden und die Geräuschentwicklung zu reduzieren, kann die mechanische Pumpe mitunter im Pumpenraum in der Nähe der Vakuumkammer aufgestellt werden.
2. Mechanische Pumpen (einschließlich Roots-Pumpen) erzeugen Vibrationen. Um Vibrationen im gesamten System zu verhindern, wird üblicherweise ein Schlauch zur Vibrationsdämpfung eingesetzt. Es gibt zwei Arten von Schläuchen: Metallschläuche und nichtmetallische. Unabhängig vom Schlauchtyp muss sichergestellt werden, dass der atmosphärische Druck nicht abfällt.
3. Nach dem Aufbau des Vakuumsystems muss eine einfache Messung und Lecksuche möglich sein. Erfahrungsgemäß neigt das Vakuumsystem zu Leckagen, die den Produktionsprozess beeinträchtigen können. Um Leckagen schnell zu lokalisieren, ist eine abschnittsweise Dichtheitsprüfung erforderlich. Daher sollte in jedem Intervall mindestens ein Messpunkt mit einem Ventil verschlossen sein.
4. Die im Vakuumsystem konfigurierten Ventile und Rohrleitungen müssen kurze Pumpzeiten, einfache Bedienung, Sicherheit und Zuverlässigkeit gewährleisten. In Systemen mit einer Dampfstrompumpe als Hauptpumpe (Diffusionspumpe oder Ölförderpumpe) und einer mechanischen Pumpe als Vorstufe ist neben der Vorvakuumleitung (Rohrleitungen der Dampfstrompumpe in Reihe mit der mechanischen Pumpe) eine Vorstufenleitung (Rohrleitung von der Vakuumkammer zur mechanischen Pumpe) vorgesehen. Zwischen Vakuumkammer und Hauptpumpe befindet sich ein Hochvakuumventil (auch Hauptventil genannt) sowie ein Vorstufenleitungsventil (auch Niedervakuumventil genannt) an der Vorstufenleitung. An der Vorstufenleitung befindet sich ein weiteres Vorstufenleitungsventil (auch Niedervakuumventil genannt). Das Hochvakuumventil an der Hauptpumpe darf im Vakuumzustand üblicherweise nicht unter dem Ventildeckel und im Atmosphärendruckzustand nicht über dem Ventildeckel geöffnet werden. Dies muss aus Sicherheitsgründen durch eine elektrische Verriegelung sichergestellt werden. Die Ventile der Vorstufenleitung und der Vorstufenleitung müssen so ausgelegt sein, dass sie sich im Atmosphärendruck öffnen lassen. Bei einem Vakuumsystem mit einer Dampfstrompumpe als Hauptpumpe muss das Hauptventil an die Hauptpumpe, das Vorstufenventil ebenfalls an die Hauptpumpe und das Vorvakuumrohrventil an die Vakuumkammer angeschlossen sein. Am Einlassrohr der mechanischen Pumpe ist ein Entlüftungsventil anzubringen. Dieses Ventil öffnet sich sofort, wenn die mechanische Pumpe stillsteht, um den Austritt der Pumpe in die Atmosphäre zu gewährleisten und zu verhindern, dass Pumpenöl in die Rohrleitung zurückfließt. Daher muss das Ventil elektrisch mit der mechanischen Pumpe verriegelt sein. Auch die Vakuumkammer selbst sollte mit einem Entlüftungsventil zum Be- und Entladen ausgestattet sein. Die Position des Ventils muss dem hohen Gasdruck beim Entlüften Rechnung tragen, um Beschädigungen empfindlicher Bauteile in der Vakuumkammer durch zu starke Stöße zu vermeiden. Die Größe des Entlüftungsventils richtet sich nach dem Volumen der Vakuumkammer. Dabei ist darauf zu achten, dass die Entlüftungszeit nicht zu lang wird und den Betrieb beeinträchtigt.
5. Die Konstruktion des Vakuumsystems sollte eine stabile und zuverlässige Abgasführung, einfache Installation, Demontage und Wartung, komfortable Bedienung sowie die Austauschbarkeit der Komponentenverbindungen gewährleisten. Für eine stabile Abgasführung muss die Hauptpumpe stabil arbeiten, die Ventile müssen flexibel und zuverlässig sein, die Anschlüsse der einzelnen Systemkomponenten dürfen nicht lecken, die Vakuumkammer muss eine gute Abdichtung aufweisen und die Anschlüsse der Vakuumkomponenten müssen genormte Abmessungen haben, um die Austauschbarkeit zu gewährleisten. Prinzipiell sollte bei der Konstruktion des Vakuumsystems jede geschlossene Rohrleitung über eine einstellbare Größe verfügen. Früher wurde dies durch Schläuche realisiert, heutzutage sind die meisten Systeme jedoch schlauchlos konstruiert. Stattdessen werden Installationsfehler durch eine präzisere Fertigung der Vakuumkomponenten und den Einsatz von Dichtungsringen an den Anschlussflanschen vermieden. Dies erhöht die Festigkeit und Steifigkeit des Systems, reduziert die Anzahl der benötigten Halterungen und verbessert die Optik.
6. Neue Technologien sollten beim Design von Vakuumsystemen eingesetzt werden, um eine automatische Steuerung und einen Verriegelungsschutz zu gewährleisten. Mit der Weiterentwicklung der Vakuumtechnologie ist ein vollautomatischer Betrieb des gesamten Pumpvorgangs erforderlich. Beispielsweise kann ein Vakuumrelais die Roots-Pumpe so steuern, dass sie bei einem Druck von 1333 Pa anläuft. Ein Wasserdruckrelais regelt den Wasserdruck der Dampfpumpe auf einen bestimmten Wert. Bei unzureichendem oder ausbleibendem Wasserdruck wird die Stromzufuhr sofort unterbrochen und ein Alarm ausgelöst, um ein Durchbrennen der Pumpe zu verhindern. Komplexe Vakuumsysteme und -prozesse erfordern eine Steuerung der strengen Geräteparameter durch ein Mikrocomputerprogramm, um mehr Sicherheit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.
7. Die Konstruktion von Vakuumsystemen muss energiesparend, kostengünstig, benutzerfreundlich und zuverlässig sein. Dies ist von großer wirtschaftlicher Bedeutung und ermöglicht den entsprechenden Vakuumanlagen einen breiten Absatzmarkt.
Magnetron-Beschichtungsanlagen nutzen die Kombination aus Mittelfrequenz-Magnetron-Sputtern und Mehrbogen-Ionen-Technologie und eignen sich für Kunststoffe, Glas, Keramik, Metallwaren und andere Produkte wie Brillen, Uhren, Handy-Zubehör, Elektronikartikel, Kristallglas usw. Die Haftung, Wiederholbarkeit, Dichte und Gleichmäßigkeit der Beschichtungsschicht sind gut, und die Anlage zeichnet sich durch hohe Produktionsleistung und Produktausbeute aus.
Hauptsächlich verwendet bei Mobiltelefonen mit Metallschlüsseln, Kartenhaltern und einem mittig beschichteten Rahmen in Gold, Roségold, Schwarz, Gunmetal-Schwarz und Blau.
Veröffentlichungsdatum: 07.11.2022