1. При соединении вакуумных компонентов, таких как клапаны, ловушки, пылесборники и вакуумные насосы, следует стремиться к тому, чтобы насосный трубопровод был коротким, направляющие трубопровода — большими, а диаметр трубопровода, как правило, не меньше диаметра патрубка насоса. Это важный принцип проектирования системы. При этом необходимо учитывать удобство монтажа и обслуживания. Иногда, чтобы предотвратить вибрацию и снизить уровень шума, механический насос может быть установлен в насосном помещении рядом с вакуумной камерой.
2. Механические насосы (включая насосы Рутса) вибрируют. Для предотвращения вибрации всей системы обычно используют шланги. Шланги бывают двух видов: металлические и неметаллические. Независимо от типа шланга, необходимо обеспечить, чтобы давление в системе не снижалось.
3. После сборки вакуумной системы необходимо обеспечить удобство измерения и обнаружения утечек. Производственная практика показывает, что вакуумные системы часто протекают, что влияет на производственный процесс. Для быстрого обнаружения мест утечки необходимо проводить пошаговое тестирование на герметичность, поэтому в каждом интервале, закрытом клапаном, должна быть как минимум одна точка измерения для проверки герметичности.
4. Клапаны и трубопроводы, установленные в вакуумной системе, должны обеспечивать короткое время откачки, простоту использования, безопасность и надежность системы. Как правило, в системе с паровым насосом в качестве основного насоса (диффузионный насос или масляный бустерный насос) и механическим насосом в качестве предварительного насоса, помимо предварительного вакуумного трубопровода (трубопроводы парового насоса, соединенные последовательно с механическим насосом), должен быть предварительный трубопровод (трубопровод от вакуумной камеры к механическому насосу). Далее, между вакуумной камерой и основным насосом находится клапан высокого вакуума (также называемый основным клапаном), а на предварительном трубопроводе — клапан низкого вакуума; на предварительном вакуумном трубопроводе также имеется клапан низкого вакуума. Клапан высокого вакуума на основном насосе обычно не может быть открыт под крышкой клапана в вакуумном состоянии и на крышке клапана в состоянии атмосферного давления; это должно обеспечиваться электрической блокировкой для безопасности. При проектировании предварительного и предварительного вакуумных клапанов трубопровода следует учитывать, что сами клапаны могут открываться при атмосферном давлении. Для вакуумной системы с паровым насосом в качестве основного насоса, основной клапан должен быть соединен с основным насосом, предварительный клапан трубопровода также должен быть соединен с основным насосом, а предварительный вакуумный клапан трубопровода должен быть соединен с вакуумной камерой. На входном патрубке механического насоса должен быть установлен клапан сброса давления. При остановке механического насоса этот клапан может быть немедленно открыт, чтобы обеспечить подачу воздуха в насос и предотвратить обратный поток масла из насоса в трубопровод, поэтому клапан должен быть электрически заблокирован с механическим насосом. В вакуумной камере также должен быть установлен клапан сброса давления для загрузки и откачки материала. Положение клапана должно учитывать большой импульс газа при сбросе давления, чтобы предотвратить повреждение слабых компонентов вакуумной камеры чрезмерным импульсом. Размер клапана сброса воздуха зависит от объема вакуумной камеры, и следует учитывать, что время сброса воздуха не должно быть слишком долгим, чтобы не влиять на работу камеры.
5. Конструкция вакуумной системы должна обеспечивать стабильный и надежный отвод отработанных газов, простоту монтажа, демонтажа и обслуживания, удобство эксплуатации и взаимозаменяемость соединений между компонентами. Для достижения стабильного отвода отработанных газов основной насос должен быть стабильным, клапаны — гибкими и надежными, соединения каждого компонента системы — герметичными, вакуумная камера — обладать хорошими уплотняющими свойствами, а соединения вакуумных компонентов — стандартными размерами для обеспечения взаимозаменяемости. В принципе, при проектировании вакуумной системы размер каждого закрытого патрубка должен иметь регулируемый размер. В прошлом эта регулировка размера решалась с помощью шлангов, но сегодня большинство систем проектируются без шлангов. Вместо этого ошибки монтажа решаются за счет повышения точности размеров вакуумных компонентов и использования уплотнительного резинового кольца на соединительном фланце, что позволяет повысить прочность и жесткость системы, уменьшить количество используемых кронштейнов и сделать ее более эстетичной.
6. В проектировании вакуумных систем следует применять новые технологии для обеспечения автоматического управления и блокировочной защиты. С развитием вакуумных технологий требуется возможность автоматической работы на протяжении всего процесса откачки, например, использование вакуумного реле для управления запуском роторного насоса при давлении 1333 Па. Реле давления воды используется для регулирования давления воды в паровом насосе до определенного уровня, и при недостаточном давлении воды или его отключении оно может немедленно отключить питание и подать сигнал тревоги, предотвращая перегорание насоса. Для сложных вакуумных систем и процессов параметры оборудования, отвечающие строгим требованиям, должны контролироваться микрокомпьютерной программой, что обеспечит большую безопасность и надежность.
7. Конструкция вакуумной системы должна обеспечивать энергосбережение, снижение затрат, простоту использования и надежность. Это имеет большое экономическое значение и может обеспечить широкое распространение разработанного вакуумного оборудования на рынке.
Оборудование для магнетронного нанесения покрытий использует технологию среднечастотного магнетронного распыления и комбинированную технологию многодугового ионного распыления, что подходит для нанесения покрытий на пластмассы, стекло, керамику, металлические изделия и другие продукты, такие как очки, часы, аксессуары для мобильных телефонов, электронные изделия, хрустальное стекло и т. д. Оно обеспечивает хорошую адгезию, повторяемость, плотность и однородность пленочного слоя, а также отличается высокой производительностью и выходом готовой продукции.
В основном используется в мобильных телефонах с металлическими кнопками, держателями для карт, центральной рамкой с золотым, розово-золотым, черным, темно-серым и синим покрытием.
Дата публикации: 07.11.2022