1, Nígbà tí àwọn ẹ̀yà ìfọṣọ bá so pọ̀ mọ́ ara wọn, wọ́n gbọ́dọ̀ gbìyànjú láti mú kí ọ̀nà ìfọṣọ náà kúrú, ìtọ́sọ́nà ìṣàn ọ̀nà ìfọṣọ náà tóbi, àti pé ìwọ̀n ìlà ojú irin kò kéré ju ìwọ̀n ìlà ojú irin tí ó wà ní ibùdó ìfọṣọ náà lọ, èyí tí ó jẹ́ ìlànà pàtàkì nínú ètò náà. Ṣùgbọ́n ní àkókò kan náà, láti ronú nípa fífi sori ẹrọ àti ìtọ́jú rẹ̀ lọ́nà tí ó rọrùn. Nígbà míìrán, láti dènà ìgbọ̀nsẹ̀ àti láti dín ariwo kù, a gbà kí a gbé ẹ̀rọ ìfọṣọ náà sí yàrá ìfọṣọ náà nítòsí yàrá ìfọṣọ náà.
2, àwọn ẹ̀rọ fifa omi (pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ fifa omi Roots) ní ìgbọ̀n, láti dènà ìgbọ̀n gbogbo ètò náà, wọ́n sábà máa ń dín ìgbọ̀n náà kù pẹ̀lú páìpù. Páìpù náà ní oríṣi méjì, irin àti kìí ṣe irin, láìka irú páìpù náà sí, a nílò láti rí i dájú pé ìfúnpá afẹ́fẹ́ kò bàjẹ́.
3, Lẹ́yìn tí a bá ti kọ́ ètò ìfọṣọ, ó yẹ kí ó rọrùn láti wọn àti láti rí ìfọṣọ. Ìṣètò ìṣelọ́pọ́ sọ fún wa pé ètò ìfọṣọ sábà máa ń rọrùn láti jò, ó sì máa ń nípa lórí ìṣelọ́pọ́ náà nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́. Láti lè rí ihò ìfọṣọ ní kíákíá, ó ṣe pàtàkì láti ṣe ìdánwò ìfọṣọ apá kan, nítorí náà ó yẹ kí ó kéré tán ojú ìwọ̀n kan wà ní àárín kọ̀ọ̀kan tí a fi fáìlì pa fún wíwọ̀n àti ìdánwò ìfọṣọ.
4, Àwọn fáìlì àti àwọn páìpù tí a ṣètò nínú ètò ìfàmọ́ra yẹ kí ó jẹ́ kí àkókò fífún ètò náà kúrú, kí ó rọrùn láti lò, kí ó sì ṣeé gbẹ́kẹ̀lé. Ní gbogbogbòò, lórí ètò náà pẹ̀lú páìpù fífún epo gẹ́gẹ́ bí páìpù pàtàkì (páìpù fífún epo tàbí páìpù fífún epo), àti páìpù oníṣẹ́-ọnà gẹ́gẹ́ bí páìpù oníṣẹ́-ọnà, pẹ̀lú páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú (páìpù fífún steam ní ìtẹ̀léra pẹ̀lú páìpù oníṣẹ́-ọnà) ó yẹ kí ó wà páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú (páìpù fífún ooru sí páìpù oníṣẹ́-ọnà). Lẹ́yìn náà, fáìlì fífún ooru gíga kan wà (tí a tún ń pè ní fáìlì fífún ooru) láàárín yàrá ìfàmọ́ra àti páìpù oníṣẹ́-ọnà àkọ́kọ́, àti fáìlì fífún ooru kékeré kan wà lórí páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú; fáìlì fífún ooru kékeré kan wà lórí páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú (tí a ń pè ní fáìlì fífún ooru kékeré) lórí páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú. fáìlì fífún ooru gíga lórí páìpù pàtàkì kò sábà ṣeé ṣí lábẹ́ ìbòrí fáìlì ní ipò fáìlì fífún ooru àti lórí ìbòrí fáìlì fífún oorun ní ipò páìpù oníṣẹ́-ọnà, èyí tí ó yẹ kí a rí i dájú pé a lè ṣí páìpù oníṣẹ́-ọnà fún ààbò. Àánú páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú àti páìpù oníṣẹ́-ọnà ṣáájú pé páìpù fúnra rẹ̀ lè ṣí lábẹ́ ìfúnpọ̀ afẹ́fẹ́. Fún ètò ìfọ́mọ́ pẹ̀lú èéfín ìṣàn omi gẹ́gẹ́ bí fifa omi àkọ́kọ́, ó yẹ kí a bo fáfà àkọ́kọ́ mọ́ fifa omi àkọ́kọ́, kí a bo fáfà pípa omi ṣáájú ìpele náà mọ́ fifa omi àkọ́kọ́ àti kí a bo fáfà pípa omi ṣáájú ìpele náà mọ́ yàrá ìfọ́mọ́. Lórí páìpù ìwọ̀lé ti fifa omi ẹ̀rọ, fáfà pípa omi gbọ́dọ̀ wà. Nígbà tí fifa omi ẹ̀rọ bá dẹ́kun ṣíṣẹ́, a lè ṣí fáfà yìí lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ láti jẹ́ kí fifa omi ẹ̀rọ wọlé sí afẹ́fẹ́ àti láti dènà epo fifa omi ẹ̀rọ láti ṣàn padà sí paípù, nítorí náà, fáfà náà gbọ́dọ̀ wà ní ìdènà pẹ̀lú fifa omi ẹ̀rọ. Ó yẹ kí a tún ṣètò fáfà pípa omi ẹ̀rọ náà, fún gbígbé àti gbígba ohun èlò. Ipò fáfà náà yẹ kí ó gba agbára ńlá ti gaasi rò nígbà tí ó bá ń já, láti dènà àwọn ohun èlò tí kò lágbára nínú yàrá ìfọ́mọ́ kí ó má baà ba nípasẹ̀ agbára tí ó pọ̀ jù. Ìwọ̀n fáfà pípa omi ẹ̀rọ náà ní í ṣe pẹ̀lú ìwọ̀n iyàrá ìfọ́mọ́, ó sì yẹ kí a ronú pé àkókò pípa omi ẹ̀rọ náà kò gbọdọ̀ gùn jù kí ó sì nípa lórí iṣẹ́ náà.
5, Apẹrẹ eto fifi sori ẹrọ yẹ ki o rii daju pe eefin ti o duro ṣinṣin ati ti o gbẹkẹle, fifi sori ẹrọ ti o rọrun, tituka ati itọju, iṣẹ ti o rọrun, ati pe asopọ laarin awọn paati le yipada. Lati le ṣaṣeyọri gaasi eefin ti o duro ṣinṣin, fifa akọkọ yẹ ki o duro ṣinṣin, awọn falifu yẹ ki o rọ ati igbẹkẹle, awọn asopọ ti apakan kọọkan ninu eto naa ko gbọdọ jo, yara fifi sori ẹrọ yẹ ki o ni iṣẹ ṣiṣe ti o dara, ati awọn asopọ ti awọn paati fifi sori ẹrọ yẹ ki o jẹ iwọn boṣewa lati rii daju pe o le yipada. Ni ipilẹ, ninu apẹrẹ eto fifi sori ẹrọ, iwọn paipu ti o tiipa kọọkan yẹ ki o ni iwọn ti a ṣatunṣe. Ni igba atijọ, iwọn ti a ṣatunṣe yii ni a yanju nipa lilo okun, ṣugbọn ni ode oni, ọpọlọpọ awọn eto ni a ṣe apẹrẹ laisi awọn okun. Dipo, awọn aṣiṣe fifi sori ẹrọ ni a yanju nipa imudarasi deede ti iwọn ilana paati fifi sori ẹrọ ati lilo oruka roba ti a fi sii lori flange asopọ, eyiti o le mu agbara ati lile ti eto naa dara si, dinku bracket ti a lo lori eto naa ki o jẹ ki o lẹwa diẹ sii.
6, Ó yẹ kí a lo ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun nínú ṣíṣe ètò ìfọṣọ láti ṣàṣeyọrí ìṣàkóso àti ààbò ìdènà aládàáṣe. Pẹ̀lú ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọṣọ, ó ṣe pàtàkì láti lè ṣiṣẹ́ láìdáwọ́dúró ní gbogbo ìlànà ìfọṣọ, bíi lílo ìfọṣọ láti ṣàkóso ìfọṣọ Roots láti bẹ̀rẹ̀ sí ṣiṣẹ́ ní ìfúnpá 1333Pa. A lo ìfọṣọ ìfúnpá omi láti ṣàkóso ìfúnpá omi ti ìfúnpá omi ní ìfúnpá kan, àti nígbà tí ìfúnpá omi kò bá tó tàbí tí a gé kúrò, ó lè gé agbára náà lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ kí ó sì fún ni ìkìlọ̀. Dínà kí ìfọṣọ náà má ba jó. Fún ètò ìfọṣọ àti ìlànà tó díjú, ètò microcomputer ló yẹ kí ó ṣàkóso àwọn pàrámítà ti àwọn ohun èlò náà, èyí tí ó ní ààbò àti ìgbẹ́kẹ̀lé jù.
7, A ṣe ètò ìfọṣọ láti fi agbára pamọ́, dín owó kù, ó rọrùn láti lò àti pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé. Ṣíṣe èyí ní ìtumọ̀ ọrọ̀ ajé ńlá, èyí tí ó lè mú kí àwọn ohun èlò ìfọṣọ tí a ṣe ní ọjà pọ̀ sí i.
Ohun èlò ìbòrí Magnetron gba ìmọ̀ ẹ̀rọ magnetron sputtering ìgbàlódé àti ìmọ̀ ẹ̀rọ àpapọ̀ multi-arc ion, èyí tí ó yẹ fún ṣíṣu, gilasi, seramiki, ohun èlò àti àwọn ọjà mìíràn, bí àwọn gilaasi, aago, àwọn ohun èlò foonu alagbeka, àwọn ọjà itanna, gilasi kristali, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ìfaramọ́, ìtúnṣe, ìwọ̀n àti ìṣọ̀kan ti fẹlẹfẹlẹ fiimu náà dára, ó sì ní àwọn ànímọ́ ti ìjáde ńlá àti ìṣẹ́dá ọjà gíga.
A maa n lo o ni pataki ninu awon foonu alagbeka pelu awon koko irin, awon ohun ti a fi kaadi mu, wura ti a fi bo aarin fireemu, goolu pupa, dudu, dudu irin ati buluu.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-07-2022