يمكن لطبقة الغشاء في مصدر التبخر الحراري أن تُدخل جزيئات الغشاء، على شكل ذرات (أو جزيئات)، إلى حيز الطور الغازي. تحت درجة حرارة مصدر التبخر العالية، تحصل الذرات أو الجزيئات على سطح الغشاء على طاقة كافية للتغلب على التوتر السطحي والتبخر من السطح. توجد هذه الذرات أو الجزيئات المتبخرة في حالة غازية في الفراغ، أي في حيز الطور الغازي. المواد المعدنية وغير المعدنية.
في بيئة الفراغ، يمكن تحسين عمليات التسخين والتبخر لمواد الغشاء. تقلل بيئة الفراغ من تأثير الضغط الجوي على عملية التبخر، مما يجعل عملية التبخر أسهل في التنفيذ. عند الضغط الجوي، تحتاج المادة إلى التعرض لضغط أكبر للتغلب على مقاومة الغاز، بينما في الفراغ، تقل هذه المقاومة بشكل كبير، مما يجعل المادة أسهل في التبخر. في عملية طلاء التبخر، تعد درجة حرارة التبخر وضغط بخار مادة مصدر التبخر عاملاً مهمًا في اختيار مادة مصدر التبخر. بالنسبة لطلاء Cd (Se، s)، تكون درجة حرارة تبخره عادةً في حدود 1000 ~ 2000 درجة مئوية، لذلك تحتاج إلى اختيار مادة مصدر التبخر بدرجة حرارة تبخر مناسبة. مثل الألومنيوم عند درجة حرارة تبخر الضغط الجوي 2400 درجة مئوية، ولكن في ظروف الفراغ، ستنخفض درجة حرارة تبخره بشكل كبير. يعود ذلك إلى عدم وجود جزيئات جوية في الفراغ، مما يُسهّل تبخير ذرات أو جزيئات الألومنيوم من السطح. تُعدّ هذه الظاهرة ميزةً مهمةً لطلاء التبخير الفراغي. ففي الفراغ، يُسهّل تبخير مادة الغشاء، مما يُتيح تكوين أغشية رقيقة في درجات حرارة منخفضة. تُقلّل هذه الدرجة المنخفضة من أكسدة المادة وتحللها، مما يُسهم في تحضير أغشية عالية الجودة.
أثناء الطلاء الفراغي، يُطلق على الضغط الذي تتوازن عنده أبخرة مادة الفيلم في مادة صلبة أو سائلة ضغط بخار التشبع عند تلك الدرجة من الحرارة. يعكس هذا الضغط التوازن الديناميكي للتبخر والتكثيف عند درجة حرارة معينة. عادةً، تكون درجة الحرارة في أجزاء أخرى من حجرة التفريغ أقل بكثير من درجة حرارة مصدر التبخر، مما يُسهّل على ذرات أو جزيئات الغشاء المتبخرة التكثف في أجزاء أخرى من الحجرة. في هذه الحالة، إذا كان معدل التبخر أكبر من معدل التكثيف، فسيصل ضغط البخار في حالة التوازن الديناميكي إلى ضغط بخار التشبع. أي أنه في هذه الحالة، يكون عدد الذرات أو الجزيئات المتبخرة مساويًا لعدد الذرات أو الجزيئات المتكثفة، ويتم الوصول إلى التوازن الديناميكي.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٧ سبتمبر ٢٠٢٤