א וואַקוום קאָוטינג סיסטעם איז אַ טעכנאָלאָגיע געניצט צו צולייגן אַ דין פילם אָדער קאָוטינג צו אַ ייבערפלאַך אין אַ וואַקוום סביבה. דער פּראָצעס גאַראַנטירט אַ הויך-קוואַליטעט, מונדיר און דויערהאפט קאָוטינג, וואָס איז קריטיש אין פאַרשידענע ינדאַסטריז אַזאַ ווי עלעקטראָניק, אָפּטיק, אָטאָמאָטיוו און אַעראָספּייס. עס זענען פאַרשידענע טייפּס פון וואַקוום קאָוטינג סיסטעמען, יעדער פּאַסיק פֿאַר ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַנז. דאָ זענען אַ ביסל שליסל טייפּס:
פיזישע פארע-אפזעצונג (PVD): דער פראצעס באשטייט פון דעם פיזישן טראנספער פון מאטעריאל פון א פעסטן אדער פליסיגן מקור צום סובסטראט. געוויינלעכע מעטאדן שליסן איין:
שפּאַטערן: מאַטעריאַל ווערט אַרויסגעוואָרפן פֿון אַ ציל און אָפּגעלייגט אויף דעם סאַבסטראַט.
פארדאַמפּונג: מאַטעריאַל ווערט געהייצט ביז עס פארדאַמפּט און דערנאָך קאָנדענסירט אויף דעם סאַבסטראַט.
כעמישע פארע-אפזעצונג (CVD): דער פראצעס באשטייט פון א כעמישע רעאקציע צווישן א פארע-פאזע פארגייער און די סובסטראט אויבערפלאך, וואס שאפט א פעסטן פילם. וועריאנטן שליסן איין:
פּלאַזמע-פאַרשטאַרקטע CVD (PECVD): ניצט פּלאַזמע צו פֿאַרשטאַרקן כעמישע רעאַקציעס.
מעטאַל-אָרגאַנישע CVD (MOCVD): ניצט מעטאַל-אָרגאַנישע קאַמפּאַונדז ווי פּריקורסאָרן.
אַטאָמישע שיכט דעפּאַזישאַן (ALD): א העכסט קאָנטראָלירטער פּראָצעס וואָס דעפּאַזירט אַטאָמישע שיכטן איינע נאָך דער אַנדערער, און זיכערט אַ פּינקטלעכע גרעב און זאַץ.
מאַגנעטראָן ספּאַטערינג: א טיפ PVD וואו מאַגנעטישע פעלדער ווערן גענוצט צו באַגרענעצן די פּלאַזמע, וואָס פאַרגרעסערט די עפעקטיווקייט פון דעם ספּאַטערינג פּראָצעס.
יאָן שטראַל דעפּאַזישאַן: ניצט יאָן שטראַלן צו שפּוטערן מאַטעריאַל פון אַ ציל און דעפּאַזיטירן עס אויף די סאַבסטראַט.
אַפּליקאַציעס:
האַלבקאָנדוקטאָרן: קאָוטינגז פֿאַר מיקראָטשיפּס און עלעקטראָנישע קאָמפּאָנענטן.
אָפּטיק: אַנטי-רעפלעקטיוו קאָוטינגז, שפּיגלען און לענסעס.
אויטאָמאָטיוו: קאָוטינגז פֿאַר מאָטאָר קאָמפּאָנענטן און דעקאָראַטיווע ענדיקונגען.
אַעראָספּייס: טערמישע באַריער קאָוטינגז און פּראַטעקטיוו לייַערס.
בענעפיטן:
איינהייטלעכע קאָוטינגז: דערגרייכט קאָנסיסטענט גרעב און זאַץ איבער די סאַבסטראַט.
הויך אַדכיזשאַן: קאָוטינגז אַדכירז גוט צו די סאַבסטראַט, ענכאַנסינג האַרטקייַט.
ריינקייט און קוואַליטעט: וואַקוום סביבה ראַדוסירט קאַנטאַמאַניישאַן, ריזאַלטינג אין הויך-ריינקייט קאָוטינגז.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: יולי-09-2024
