ברוכים הבאים צו גואַנגדאָנג זשענהואַ טעכנאָלאָגיע קאָו., לטד.
איין_באַנער

פּראָצעס פאַקטאָרן און מעכאַניזמען וואָס ווירקן אויף די קוואַליטעט פון דין פילם דעוויסעס (טייל 1)

אַרטיקל מקור: זשענהואַ וואַקוום
לייענען: 10
ארויסגעגעבן: 24-03-29

די פאבריקאציע פון ​​אפטישע דין-פילם דעווייסעס ווערט דורכגעפירט אין א וואקיום קאמער, און דער וואוקס פון דער פילם שיכט איז א מיקראסקאפישער פראצעס. אבער, איצט, די מאקראסקאפישע פראצעסן וואס קענען דירעקט קאנטראלירט ווערן זענען געוויסע מאקראסקאפישע פאקטארן וואס האבן אן אומדירעקטע באציאונג מיט דער קוואליטעט פון דער פילם שיכט. אפילו אזוי, דורך לאנג-טערמין אנהאלטנדיקע עקספערימענטאלע פארשונג, האבן מענטשן געפונען די רעגולערע באציאונג צווישן דער פילם קוואליטעט און די מאקרא פאקטארן, וואס איז געווארן א פראצעס ספעציפיקאציע צו פירן די פאבריקאציע פון ​​פילם רייזע דעווייסעס, און שפילט א וויכטיגע ראלע אין דער פאבריקאציע פון ​​הויך-קוואליטעט אפטישע דין-פילם דעווייסעס.

大图
1. דער עפֿעקט פֿון וואַקוום פּלייטינג

דער איינפלוס פון וואַקוום גראַד אויף די אייגנשאַפטן פון דעם פילם איז צוליב דעם ענערגיע פארלוסט און כעמישע רעאַקציע געפֿירט דורך דער גאַז פאַזע קאָליזיע צווישן דעם רעשט גאַז און די פילם אַטאָמען און מאַלעקולן. אויב דער וואַקוום גראַד איז נידעריק, די וואַרשיינלעכקייט פון פוסיאָן צווישן די פארע מאַלעקולן פון דעם פילם מאַטעריאַל און די רעשט גאַז מאַלעקולן וואַקסט, און די קינעטישע ענערגיע פון ​​די פארע מאַלעקולן איז שטאַרק רידוסט, מאכן די פארע מאַלעקולן נישט ביכולת צו דערגרייכן דעם סאַבסטראַט, אָדער נישט ביכולת צו ברעכן דורך די גאַז אַדסאָרפּשאַן שיכט אויף דעם סאַבסטראַט, אָדער קוים ביכולת צו ברעכן דורך די גאַז אַדסאָרפּשאַן שיכט אָבער די אַדסאָרפּשאַן ענערגיע מיט דעם סאַבסטראַט איז זייער קליין. ווי אַ רעזולטאַט, דער פילם דעפּאַזאַט דורך אָפּטיש דין פילם דעוויסעס איז לויז, די אַקומולאַטיאָן געדיכטקייַט איז נידעריק, די מעכאַנישע שטאַרקייַט איז שלעכט, די כעמישע קאַמפּאַזישאַן איז נישט ריין, און די רעפראַקטיוו אינדעקס און כאַרדנאַס פון די פילם שיכט זענען שלעכט.

בכלל, מיטן פארגרעסערן דעם וואקוום, ווערט די סטרוקטור פונעם פילם פארבעסערט, די כעמישע קאמפאזיציע ווערט ריין, אבער דער דרוק פארגרעסערט זיך. ווי העכער די ריינקייט פונעם מעטאל פילם און האלב-קאנדוקטאר פילם, אלץ בעסער, זיי הענגען אפ פונעם גראד פון וואקוום, וואס פארלאנגט א העכערע דירעקטע ליידיקייט. די הויפט אייגנשאפטן פון פילמען וואס ווערן באאיינפלוסט פונעם וואקוום גראד זענען רעפראקטיווע אינדעקס, צעשפרייטונג, מעכאנישע שטארקייט און נישט-אויפלעזלעכקייט.
2. איינפלוס פון דעפּאָזיציע קורס

דעפּאָזיציע ראַטע איז אַ פּראָצעס פּאַראַמעטער וואָס באַשרײַבט די דעפּאָזיציע גיכקייט פון דער פֿילם, אויסגעדריקט דורך די גרעב פון דער פֿילם געשאַפן אויף דער ייבערפלאַך פון דער פּלאַטינג אין צײַט־איינהייט, און די איינהייט איז נאַנאָמעטער·ס-1.

די דעפּאָזיציע ראַטע האט אַ קלאָרע השפּעה אויף דעם רעפראַקטיוו אינדעקס, פעסטקייט, מעכאַנישע שטאַרקייט, אַדכיזשאַן און דרוק פון דעם פילם. אויב די דעפּאָזיציע ראַטע איז נידעריק, קומען רובֿ פון די פארע מאָלעקולן צוריק פון דעם סאַבסטראַט, די פאָרמירונג פון קריסטאַל קערנס איז פּאַמעלעך, און קאָנדענסאַציע קען נאָר דורכגעפירט ווערן אויף גרויסע אַגגרעגאַטן, אַזוי מאַכן די סטרוקטור פון דעם פילם לויז. מיט דער פאַרגרעסערונג פון דעפּאָזיציע ראַטע, וועט אַ דין און געדיכטער פילם געשאפן ווערן, ליכט צעשפּרייטונג וועט פאַרמינערן, און פעסטקייט וועט פאַרגרעסערן. דעריבער, ווי צו ריכטיק אויסקלייבן די פילם דעפּאָזיציע ראַטע איז אַ וויכטיקע פּראָבלעם אין דעם פארדאַמפּונג פּראָצעס, און די ספּעציפֿישע אויסקלייב זאָל באַשטימט ווערן לויט דעם פילם מאַטעריאַל.

עס זענען דא צוויי מעטאָדן צו פֿאַרבעסערן די דעפּאָזיציע קורס: (1) פאַרגרעסערן די טעמפּעראַטור פון די פֿאַרדאַמפּונג מקור (2) פאַרגרעסערן די שטח פון די פֿאַרדאַמפּונג מקור.


פּאָסט צייט: 29סטן מערץ 2024