די עקוויפּמענט אינטעגרירט מאַגנעטראָן ספּאַטערינג און קעגנשטעל פארדאַמפּונג טעכנאָלאָגיע, און גיט אַ לייזונג פֿאַר קאָוטינג אַ פאַרשיידנקייט פון פאַרשידענע סאַבסטראַטן.
די עקספּערימענטאַלע קאָוטינג עקוויפּמענט ווערט דער הויפּט גענוצט אין אוניווערסיטעטן און וויסנשאַפטלעכע פאָרשונג אינסטיטוציעס, און קען מקיים זיין אַ פאַרשיידנקייט פון עקספּערימענטאַלע באדערפענישן. פאַרשידענע סטרוקטורעלע צילן זענען רעזערווירט פֿאַר די עקוויפּמענט, וואָס קענען פלעקסאַבאַל קאָנפיגורירט ווערן צו מקיים זיין די וויסנשאַפטלעכע פאָרשונג און אַנטוויקלונג אין פאַרשידענע פעלדער. מאַגנעטראָן ספּאַטערינג סיסטעם, קאַטאָדע אַרק סיסטעם, עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג סיסטעם, קעגנשטעל פארדאַמפּונג סיסטעם, CVD, PECVD, יאָן מקור, בייאַס סיסטעם, הייצונג סיסטעם, דריי-דימענשאַנאַל פיקסטשער, עטק. קענען אויסגעקליבן ווערן. קאַסטאַמערז קענען אויסקלייבן לויט זייערע פאַרשידענע באדערפענישן.
די עקוויפּמענט האט די קעראַקטעריסטיקס פון שיין אויסזען, קאָמפּאַקט סטרוקטור, קליין שטאָק שטח, הויך גראַד פון אָטאַמאַציע, פּשוט און פלעקסאַבאַל אָפּעראַציע, סטאַביל פאָרשטעלונג און גרינג וישאַלט.
די עקוויפּמענט קען ווערן גענוצט אויף פּלאַסטיק, ומבאַפלעקט שטאָל, עלעקטראָפּלייטאַד האַרדווער / פּלאַסטיק טיילן, גלאָז, קעראַמיק און אַנדערע מאַטעריאַלן. מען קען צוגרייטן פּשוטע מעטאַל שיכטן ווי טיטאַניום, קראָום, זילבער, קופּער, אַלומינום אָדער מעטאַל קאַמפּאַונד פילמען ווי TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(מם) | φ600*H800(מם) | φ800*H1000(מם) |