Hệ thống phủ chân không là công nghệ được sử dụng để phủ một lớp màng mỏng hoặc lớp phủ lên bề mặt trong môi trường chân không. Quy trình này đảm bảo lớp phủ chất lượng cao, đồng đều và bền, rất quan trọng trong nhiều ngành công nghiệp như điện tử, quang học, ô tô và hàng không vũ trụ. Có nhiều loại hệ thống phủ chân không khác nhau, mỗi loại phù hợp với các ứng dụng cụ thể. Sau đây là một số loại chính:
Lắng đọng hơi vật lý (PVD): Quá trình này liên quan đến việc chuyển vật liệu vật lý từ nguồn rắn hoặc lỏng sang chất nền. Các phương pháp phổ biến bao gồm:
Phun phủ: Vật liệu được đẩy ra khỏi mục tiêu và lắng đọng trên chất nền.
Bay hơi: Vật liệu được đun nóng cho đến khi bay hơi và sau đó ngưng tụ trên chất nền.
Lắng đọng hơi hóa học (CVD): Quá trình này liên quan đến phản ứng hóa học giữa tiền chất dạng hơi và bề mặt chất nền, tạo thành một lớp màng rắn. Các biến thể bao gồm:
CVD tăng cường plasma (PECVD): Sử dụng plasma để tăng cường phản ứng hóa học.
CVD kim loại hữu cơ (MOCVD): Sử dụng hợp chất kim loại hữu cơ làm tiền chất.
Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD): Một quá trình được kiểm soát chặt chẽ, lắng đọng từng lớp nguyên tử một, đảm bảo độ dày và thành phần chính xác.
Phun xạ Magnetron: Một loại PVD trong đó từ trường được sử dụng để giới hạn plasma, tăng hiệu quả của quá trình phun xạ.
Lắng đọng chùm ion: Sử dụng chùm ion để phun vật liệu từ mục tiêu và lắng đọng lên chất nền.
Ứng dụng:
Chất bán dẫn: Lớp phủ cho vi mạch và linh kiện điện tử.
Quang học: Lớp phủ chống phản xạ, gương và thấu kính.
Ô tô: Lớp phủ cho các bộ phận động cơ và lớp hoàn thiện trang trí.
Hàng không vũ trụ: Lớp phủ cách nhiệt và lớp bảo vệ.
Những lợi ích:
Lớp phủ đồng nhất: Đạt được độ dày và thành phần đồng nhất trên toàn bộ bề mặt.
Độ bám dính cao: Lớp phủ bám dính tốt vào bề mặt, tăng độ bền.
Độ tinh khiết và chất lượng: Môi trường chân không làm giảm ô nhiễm, tạo ra lớp phủ có độ tinh khiết cao.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 09-07-2024