CFM1916

(1)Giá đỡ phôi gia công áp dụng thiết kế hình trụ, diện tích phủ lớn. Sức chứa sản phẩm gấp đôi thiết bị bốc hơi chùm tia điện tử cùng thông số kỹ thuật. Giá đỡ phôi gia công được thiết kế theo cấu trúc quay và quay, có thể thích ứng với các phôi gia công có hình dạng khác nhau và được sử dụng rộng rãi hơn.
(2)Sử dụng hệ thống phun mục tiêu hình trụ magnetron tần số trung bình và hệ thống phụ trợ nguồn ion, màng phủ nhỏ gọn, có chiết suất cao và ổn định, độ bám dính mạnh và không dễ hấp thụ các phân tử hơi nước. Trong các môi trường khác nhau, màng duy trì hiệu suất quang học ổn định hơn so với màng được lắng đọng bằng thiết bị bốc hơi chùm tia điện tử truyền thống.
(3)Được trang bị hệ thống giám sát điều khiển tinh thể để kiểm soát chính xác độ dày màng, quy trình có độ ổn định cao và khả năng lặp lại tốt. Hệ thống điều khiển tự động và vòng kín SPEEDFLO có thể cải thiện hiệu quả tốc độ lắng đọng SiO2.
(4) Thiết kế đồ gá nhiệt có thể kiểm soát hiệu quả nhiệt độ sản phẩm và có thể thích ứng với các sản phẩm PET và PC siêu mỏng.