CFM1916

両開きマグネトロン光学コーティング装置

ローラータイプ＋オス回転ワークホルダーの設計

携帯電話業界向け特集

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製品説明

携帯電話業界の需要の急速な成長に伴い、従来の光学コーティング機の積載能力ではこの需要を満たすことができません。ZHENHUAはこの需要に応えるために、マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置を発売しました。

(1)ワークラックは円筒形のデザインを採用しており、大きな塗装面積を備えています。同仕様の電子ビーム蒸着装置に比べ、製品搭載能力は2倍です。ワークラックは公転・自転構造で設計されており、さまざまな形状のワークに適応でき、より広く使用されています。
(2)中周波マグネトロン円筒ターゲットスパッタリングシステムとイオン源補助システムの採用により、塗膜は緻密で、屈折率が高く安定し、密着力が強く、水蒸気分子を吸着しにくい。さまざまな環境下において、従来の電子ビーム蒸着装置で成膜した膜に比べて安定した光学性能を維持します。
(3)膜厚を正確に制御する結晶制御モニタリングシステムを搭載しており、プロセスの安定性と再現性が良好です。SPEEDFLO 閉ループ自動制御システムは、SiO2 の堆積速度を効果的に向上させることができます。
(4)サーモスタット治具の設計は製品の温度を効果的に制御でき、超薄型PETおよびPC製品に適応できます。

この装置は、TiO2、SiO2、Nb2O5、In、Ag、Crなどの材料の蒸着に使用でき、さまざまな光学カラーフィルム、ARフィルム、分光フィルムなどを実現できます。PETフィルム/複合板、携帯電話のカバーガラス、携帯電話のミドルフレーム、3C電子製品、サングラス、香水瓶、クリスタルなどの製品。