CFM1916

二重扉式マグネトロン光学コーティング装置

ローラー式＋雄回転式ワークピースホルダの設計

携帯電話業界向け

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製品説明

携帯電話業界の需要が急速に拡大するにつれ、従来の光学コーティング装置の処理能力ではこの需要を満たせなくなってきています。そこで、ZHENHUA社は、この需要に応えるべく、マグネトロンスパッタリング光学コーティング装置を開発しました。

（１）ワークピースラックは円筒形設計を採用し、広いコーティング面積を実現しています。製品の積載能力は、同仕様の電子ビーム蒸着装置の２倍です。ワークピースラックは回転構造で設計されており、様々な形状のワークピースに対応でき、より幅広い用途に使用できます。
（２）中周波マグネトロン円筒ターゲットスパッタリングシステムとイオン源補助システムを用いることで、緻密で高屈折率かつ安定しており、密着性が高く、水蒸気分子を吸着しにくい膜が得られる。様々な環境下において、従来の電子ビーム蒸着装置で成膜した膜よりも安定した光学性能を維持する。
（３）結晶制御モニタリングシステムを搭載し、膜厚を正確に制御することで、高い安定性と優れた再現性を実現しています。SPEEDFLOクローズドループ自動制御システムは、SiO2の成膜速度を効果的に向上させることができます。
（4）サーモスタット式治具設計により、製品温度を効果的に制御でき、超薄型PETおよびPC製品にも対応できます。

この装置は、TiO2、SiO2、Nb2O5、In、Ag、Crなどの材料を成膜することができ、様々な光学カラーフィルム、反射防止フィルム、分光フィルムなどを実現できます。PETフィルム／複合板、携帯電話カバーガラス、携帯電話ミドルフレーム、3C電子製品、サングラス、香水瓶、クリスタルなどの製品に幅広く使用されています。