Vakuumli qoplama tizimi vakuumli muhitda yuzaga yupqa plyonka yoki qoplamani qo'llash uchun ishlatiladigan texnologiyadir. Bu jarayon elektronika, optika, avtomobilsozlik va aerokosmik kabi turli sohalarda hal qiluvchi ahamiyatga ega bo'lgan yuqori sifatli, bir xil va bardoshli qoplamani ta'minlaydi. Vakuumli qoplama tizimlarining har xil turlari mavjud bo'lib, ularning har biri muayyan ilovalar uchun mos keladi. Bu erda bir nechta asosiy turlar mavjud:
Jismoniy bug 'birikishi (PVD): Bu jarayon materialni qattiq yoki suyuq manbadan substratga jismoniy o'tkazishni o'z ichiga oladi. Umumiy usullarga quyidagilar kiradi:
Cho'kish: material nishondan chiqariladi va substratga yotqiziladi.
Bug'lanish: Material bug'lanib ketguncha isitiladi va keyin substratda kondensatsiyalanadi.
Kimyoviy bug'ning cho'kishi (CVD): Bu jarayon bug 'fazasi kashshofi va substrat yuzasi o'rtasidagi kimyoviy reaktsiyani o'z ichiga oladi va qattiq plyonka hosil qiladi. Variantlar quyidagilarni o'z ichiga oladi:
Plazma bilan kengaytirilgan CVD (PECVD): Kimyoviy reaktsiyalarni kuchaytirish uchun plazmadan foydalanadi.
Metall-organik CVD (MOCVD): Metall-organik birikmalarni prekursorlar sifatida ishlatadi.
Atom qatlamini cho'ktirish (ALD): Atom qatlamlarini birma-bir to'plash, aniq qalinligi va tarkibini ta'minlaydigan yuqori darajada boshqariladigan jarayon.
Magnetron purkash: PVD turi, bunda magnit maydonlar plazmani cheklash uchun ishlatiladi, bu esa püskürtme jarayonining samaradorligini oshiradi.
Ion nurlarini joylashtirish: ion nurlarini maqsaddan materialni sochish va uni substratga joylashtirish uchun ishlatadi.
Ilovalar:
Yarimo'tkazgichlar: mikrochiplar va elektron komponentlar uchun qoplamalar.
Optika: aks ettiruvchi qoplamalar, nometall va linzalar.
Avtomobil: Dvigatel komponentlari va dekorativ qoplamalar uchun qoplamalar.
Aerokosmik: termal to'siq qoplamalari va himoya qatlamlari.
Foydasi:
Yagona qoplamalar: substrat bo'ylab izchil qalinlik va tarkibga erishadi.
Yuqori yopishqoqlik: qoplamalar substratga yaxshi yopishadi, chidamlilikni oshiradi.
Soflik va sifat: Vakuum muhiti ifloslanishni kamaytiradi, natijada yuqori tozalikdagi qoplamalar paydo bo'ladi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 2024 yil 09-iyul