Optik ince film cihazlarının üretimi vakum odasında gerçekleştirilir ve film tabakasının büyümesi mikroskobik bir işlemdir. Ancak şu anda doğrudan kontrol edilebilen makroskobik işlemler, film tabakasının kalitesiyle dolaylı bir ilişkisi olan bazı makroskobik faktörlerdir. Yine de, uzun vadeli sürekli deneysel araştırmalar yoluyla, insanlar film kalitesi ile bu makro faktörler arasındaki düzenli ilişkiyi bulmuşlardır; bu, film seyahat cihazlarının üretimini yönlendiren bir süreç spesifikasyonu haline gelmiştir ve yüksek kaliteli optik ince film cihazlarının üretiminde önemli bir rol oynar.
1. Vakum kaplamanın etkisi
Vakum derecesinin filmin özellikleri üzerindeki etkisi, artık gaz ile film atomları ve molekülleri arasındaki gaz fazı çarpışmasının neden olduğu enerji kaybı ve kimyasal reaksiyondan kaynaklanır. Vakum derecesi düşükse, film malzemesinin buhar molekülleri ile kalan gaz molekülleri arasındaki füzyon olasılığı artar ve buhar moleküllerinin kinetik enerjisi büyük ölçüde azalır, buhar moleküllerinin alt tabakaya ulaşmasını veya alt tabaka üzerindeki gaz adsorpsiyon tabakasını aşmasını veya gaz adsorpsiyon tabakasını zar zor aşmasını sağlar ancak alt tabaka ile adsorpsiyon enerjisi çok küçüktür. Sonuç olarak, optik ince film cihazları tarafından biriktirilen film gevşektir, birikim yoğunluğu düşüktür, mekanik mukavemet zayıftır, kimyasal bileşimi saf değildir ve film tabakasının kırılma indisi ve sertliği zayıftır.
Genellikle vakumun artmasıyla filmin yapısı iyileşir, kimyasal bileşim saflaşır, ancak stres artar. Metal filmin ve yarı iletken filmin saflığı ne kadar yüksekse o kadar iyidir, daha yüksek doğrudan boşluk gerektiren vakum derecesine bağlıdırlar. Vakum derecesinden etkilenen filmlerin ana özellikleri kırılma indisi, saçılma, mekanik dayanıklılık ve çözünmezliktir.
2. Biriktirme oranının etkisi
Biriktirme hızı, kaplamanın yüzeyinde oluşan filmin birim zamandaki kalınlığı ile ifade edilen filmin biriktirme hızını tanımlayan bir işlem parametresi olup birimi nm·s-1'dir.
Biriktirme oranının kırılma indisi, sertlik, mekanik mukavemet, yapışma ve filmin stresi üzerinde belirgin bir etkisi vardır. Biriktirme oranı düşükse, buhar moleküllerinin çoğu alt tabakadan geri döner, kristal çekirdeklerinin oluşumu yavaştır ve yoğunlaşma yalnızca büyük agregalar üzerinde gerçekleştirilebilir, böylece filmin yapısı gevşek hale gelir. Biriktirme oranının artmasıyla ince ve yoğun bir film oluşacak, ışık saçılması azalacak ve sertlik artacaktır. Bu nedenle, film biriktirme oranının nasıl doğru şekilde seçileceği buharlaştırma sürecinde önemli bir konudur ve belirli seçim film malzemesine göre belirlenmelidir.
Biriktirme oranını iyileştirmenin iki yöntemi vardır: (1) buharlaşma kaynağı sıcaklığını artırma yöntemi (2) buharlaşma kaynağı alanını artırma yöntemi.
Gönderi zamanı: Mar-29-2024