Wakuum örtük enjamlary wakuum gurşawynda inçe plýonka çökdürmek tehnologiýasynyň bir görnüşi bolup, elektronikada, optikada, materialşynaslykda, energiýada we ş.m. giňden ulanylýar. Wakuum örtük enjamlary esasan aşakdaky böleklerden ybarat:
Wakuum kamerasy: Bu wakuum örtük enjamlarynyň esasy bölegi bolup, onda ähli örtük prosesleri amala aşyrylýar. Wakuum kamerasy wakuum gurşawyna çydamly bolmaly we gowy möhürlenmegini saklamaly.
Wakuum nasosy: Ol wakuum kamerasynyň içindeki howany sorup almak we wakuum gurşawyny döretmek üçin ulanylýar. Umumy wakuum nasoslaryna mehaniki nasoslar we molekulýar nasoslar girýär.
Bugaryş çeşmesi: Örtük materialyny gyzdyrmak we bugartmak üçin ulanylýar. Bugaryş çeşmesi garşylykly gyzdyrmak, elektron şöhlesi bilen gyzdyrmak, lazer bilen gyzdyrmak we ş.m. bolup biler.
Çökdürme çarçuwasy (Substrat saklaýjy): örtüljek substraty goýmak üçin ulanylýar. Substrat saklaýjysy örtügiň deňligini üpjün etmek üçin öwrülip ýa-da süýşürilip bilner.
Dolandyryş ulgamy: Wakuum nasosynyň işe girizilmegi we togtadylmagy, bugarma çeşmesiniň temperaturasyny dolandyrmak we çökündi tizligini sazlamak ýaly tutuş örtük prosesini dolandyrmak üçin ulanylýar.
Ölçeg we gözegçilik enjamlary: Örtmek prosesinde esasy parametrleri, mysal üçin, wakuum derejesi, temperatura, çökme tizligi we ş.m. real wagt režiminde gözegçilik etmek üçin ulanylýar.
Elektrik üpjünçilik ulgamy: wakuum örtük enjamlary üçin zerur bolan energiýany üpjün etmek üçin.
Sowadyjy ulgam: enjamyň kadaly işlemegini üpjün etmek üçin wakuum kamerasyny we beýleki ýylylyk öndürýän bölekleri sowatmak üçin ulanylýar.
Bu bölekleriň netijeli utgaşdyrylmagy wakuum örtük enjamlaryna dürli senagat we ylmy zerurlyklary kanagatlandyrmak üçin plýonkanyň galyňlygyny, düzümini we gurluşyny takyk gözegçilikde saklamaga mümkinçilik berýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 27-nji iýuly